- 締切済み
X線回折から膜厚を求める方法
X線回折測定で得られるフリンジ(周期的な振動)からフィッティングを行うことによって単層の薄膜の厚さを求めることが可能なようですが、どんな関数にフィッティングしていいか分かりません。 おそらく強度と厚さのパラメータが入った関数だと思いますが。。。 よろしくお願いします。
- みんなの回答 (1)
- 専門家の回答
みんなの回答
- usokoku
- ベストアンサー率29% (744/2561)
関連するQ&A
- X線回折での分離の仕方
X線回折での分離の仕方 X線初心者ですが、よろしくお願いします。 窒化鉄の薄膜の結晶構造をX線回折で調べているのですが、 回折ピークの形が左右均等でない場合、(『/|』例えばこのような) 2つのピーク(例えばFe3N, Fe4N)が重なってできたピークとするならば、 それぞれの半値幅やピーク強度を求めるために分離して考える必要があると思います。 重なってできたピークを分離する方法について教えてください。 (専用のソフトが必要であれば話が変わってきますが;) まだまだ勉強不足な点も多いので、おすすめの文献があればそちらもお願い致します。
- 締切済み
- 科学
- 複合材料のX線回折では重なるピークはどちらか一方を見ているのでしょうか
X線回折についてよくわかっていないので教えてください。 例えばA、Bという2つの異なる材料において、AとB別々にX線回折測定した場合、ある2θ(=2θ1)では両方ともピークを持つとします(それぞれ他の2θでもピークを持ちますが)。このときAとBコンパウンドして複合材料にしてX線回折測定した場合、2θ1に現れるピーク強度はAかBのどちらか強いほうのピークを見ていることになるのでしょうか。つまり弱い方は隠れるということになるのでしょうか(足し算にはならないということなのでしょうか)。
- ベストアンサー
- 物理学
- 膜厚の測定について
膜厚の測定について 下のURLのピークバレー法のところに 次のように書いてあります。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー 測定された分光反射率値のピーク及びバレーの周期性から 膜厚を算出する方法で、単層膜測定に有効です。複雑な設 定が不要のため、簡単に求めることができます。 ーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーーー ここで言う”分光反射率値”とはなんでしょうか? また、どうして周期性から膜厚が求まるのですか? http://www.olympus-ims.com/ja/metrology/lens-spectral/uspm-ruw/
- ベストアンサー
- 物理学
- X線回折装置について
基本的な事だと思いますがいくつかお尋ねしたいことがあります。 θ-2θ測定などのX線回折によってピークが現れるのは、添付した図のようにブラッグ条件2d sinθ=nλにしたがって光路差が波長の整数倍になるときの角度θで検出されるX線強度が急激に増えるからですが、しかしこれは反射X線同士が干渉して強めあったのであって回折とは言わないのではないでしょうか。 またピークの位置・ピークの本数は物質ごとに異なりますが、ピークの本数が多いというのはブラッグ条件を満たす次数nの数が多いという意味ですか?そしてどういう物質(単結晶・多結晶・化合物・高分子.etc)だとピークの数が多くなる等の傾向などはあるのでしょうか。
- ベストアンサー
- 物理学
- 透過型回折格子と反射型との関係や対応について
光を分光するために回折格子が用いられることがあります。 反射型回折格子は分光計でよく用いられると聞きます。そこでこの反射型回折格子について理論的に学ぼうとしています。 しかし文献等ではよく透過型回折格子を用いた理論の説明があります。 そこで透過型回折格子の理論を勉強し、その後、その理論を反射型格子の場合に適用したいと考えています。 そこで質問なのですが、透過型回折格子と反射型回折格子とではどのような関係性がありますか。 具体的には、以下の様な透過型回折格子の各パラメータは、反射型回折格子の場合どのようになりますでしょうか。特に、透過型回折格子の開口の幅が、反射型ではどのように考えればいいか疑問に感じています。また透過型回折格子の開口が小さいほど光は回折されると思いますが、反射型回折格子の場合ではブレーズド角が大きいほど光が回折すると考えればよいでしょうか。 透過型回折格子について、、、 周期:d 光が透過するための開口の幅:a 回折格子の長さ:D よろしくお願いします!
- ベストアンサー
- 物理学
お礼
ありがとうございます。大変参考になりました。