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薄膜状の酸化物の状態分析の方法
UBS69の回答
私の知る範疇でお答えします。XPSはX線を照射しますのでmmオーダーの測定領域における平均的情報が得られることになります。対してオージェは電子線の照射を用いますのでマイクロオーダーの測定領域となります。お問い合わせの試料表面が比較的均一とみなせる(マクロ的)な場合はXPSによる測定で概略をつかむことができますが、局所的な変異状態や特質的な部位を含む場合にはオージェの局所分析を併用すべきかと思います。状態観察にはXPSのケミカルシフト観察が有効と思いますが正確なエネルギー補正や基準、信用のできるデータベースが必要になります。 表面分析を行う場合、測定装置の特質を十分把握することが非常に重要と考えますのでXPS、オージェに限らず可能な限り多角的な情報(TEM.FIB.AFM.SEMなど)により評価、解析すると面白い結果がでるかも?。ご参考まで。
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補足
ポイント遅くなりましたすみません。 ありがとうございました。