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低温プラズマ
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半導体集積回路の製造工程の中では成膜工程がありますが、 成膜方法の一つにＣＶＤ（chemical vapor deposition）があります。 http://www.tdy.co.jp/bmr/hidep.html あと、 私はぜんぜん知りませんが、下記のようなこともあるようです。 実用化されていないような気がしますが。 http://www.lib.shizuoka.ac.jp/gakui/gdea/gdea076.htm
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- north_2nd
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蛍光灯とかプラズマテレビなどですね。
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