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結晶成長

半導体製造で主な結晶成長法に関して 結晶成長で種結晶が使われる理由について教えてください。

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  • sanori
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回答No.1

種結晶がないと、結晶を成長させるとき、結晶の方向が定まらないからです。 種結晶があれば、種結晶付近での結晶成長は、種結晶と同じ方向の結晶配列にそろいます。 その方向は、後から後から成長する結晶も、全部同じ結晶方位になります。 つまり、あとは、新たに種結晶を与えなくても、引き上げ装置内で、全部同じ方向にそろった結晶が成長していきます。 つまり、意図する成長方向の「きっかけ」を与えてやるということなんですね。

asrbells
質問者

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