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半導体のウェットエッチングでDHFとBHFを同じ槽で処理は可能?

半導体のウェットエッチングで、DHFとBHF(BOE)を同じ槽で処理することは可能ですか?材質はPTFEです。液の交換では、純水で洗浄するぐらいですが・・・。

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回答No.2

量産だと規模にもよりますが、 1)いちいち交換していられない、 2)ライフを管理する必要がある(コスト!) ということで、可能か不可能化の前に最初から別槽を考えるべきですよ。

densuke
質問者

お礼

遅くなり、申し訳ございません。 ありがとうございました。

その他の回答 (1)

回答No.1

これは実験/試作レベルということですよね? どちらかの処理後にちゃんと純水洗浄すれば問題ないと思いますよ。

densuke
質問者

補足

回答ありがとうございます。そうです。試作レベルです。ただ、量産レベルだと、問題ありますか?

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