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半導体のウェットエッチングでDHFとBHFを同じ槽で処理は可能?
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量産だと規模にもよりますが、 1)いちいち交換していられない、 2)ライフを管理する必要がある(コスト!) ということで、可能か不可能化の前に最初から別槽を考えるべきですよ。
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- microftxxx
- ベストアンサー率54% (13/24)
これは実験/試作レベルということですよね? どちらかの処理後にちゃんと純水洗浄すれば問題ないと思いますよ。
補足
回答ありがとうございます。そうです。試作レベルです。ただ、量産レベルだと、問題ありますか?
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