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半導体工場の汚泥処理について

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半導体工場で半導体製造時に発生する汚泥(特にフッ素汚泥、有機汚泥)について処理方法をどうしているのか教えて下さい。
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シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。 ...続きを読む
シリコンウエハの研削・研磨粉を含む排水を処理するのでしたら、ろ過方式が一般的だと思います。
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