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融点に達した薄膜
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- sanori
- ベストアンサー率48% (5664/11798)
Si上にアルミニウムをスパッタしたものをアルミニウムの融点以上に加熱すると、アルミニウムは、でろでろに融けます。 融点以上に上げると、真空チャンバー内壁がアルミニウムで汚染されますし、いったん汚染したものを洗浄するのは困難な作業になります。ですから、例えば集積回路を作るための工程に用いるようなきれいなチャンバーであれば、やめといたほうがいいです。 なお、アルミニウムは、Si表面と若干、合金化反応します。 飽和固溶濃度は知りませんが、恐らく、アルミ1に対して数%のSiが融けるぐらいではないかと思います。
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