真空蒸着抵抗加熱式で金属を蒸着する上限温度は？
- 真空蒸着抵抗加熱式では、金属の融点によって蒸着可能な温度が決まります。
- チタンやクロムは抵抗加熱では蒸着できない可能性があります。
- 抵抗加熱式はイオンプレーティングやスパッタよりも優れている点があります。
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真空蒸着抵抗加熱式
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少なくともチタンはチタンサブリメーション(TSP、通称ゲッターポンプ)という超高真空用真空ポンプとして、通電抵抗加熱での真空チャンバー壁への蒸着がよく行われていますね。 抵抗加熱だと 1.大容量電源があればよいので、高周波電源やガス設備の必要なイオンプレーティングやスパッタより装置が安価にしやすい 2.蒸着源の形状、配置が比較的自由 3.厚膜蒸着が行いやすい。 4.プラズマによる処理対象表面損傷が起きない。 という点がメリットかと思います。
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- inowell
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装置の真空度と金属の種類によります。融点というよりも沸点です。 真空度と金属の蒸気圧曲線から、何Paで何℃で蒸発するのか、ということがわかります。 チタンやクロムも可能です。
お礼
蒸気圧曲線というのがあるのですね、抵抗加熱でチタン、クロムを飛ばそうとするとかなりの真空度が必要ということでしょうか
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お礼
チタンサブリメーション 初耳でした 真空引きする時間が大幅に短縮するのですね ありがとうございました