EDX分析の原理とは？
- EDX分析では、電子線により元素の分析を行います。
- 分析の際、最初に飛ばされる電子は「K殻」の電子ですが、L殻や他の殻の電子も存在する可能性があります。
- 蛍光X線装置による分析もSEM+EDXと同様の原理で行われます。
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EDX分析の原理
SEMに付帯しているEDXで元素分析を行う際、いろいろな資料を読み漁ると、「K殻」の電子が電子線により1つ飛ばされ、そのK殻にある2つの電子の居場所のうち1つが空きとなり、そこへL殻から電子が遷移、それによりL殻に空きができM殻から電子が遷移・・・とあります。 最初に電子線で飛ばされる電子は、必ず「K殻」の電子なのでしょうか？ それとも、L殻の電子やそれ以外の場合もあるのでしょうか？ また、蛍光X線装置での分析においても、同様な説明がありました。 SEM+EDXによる元素分析と同じなのでしょうか？
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>最初に電子線で飛ばされる電子は、必ず「K殻」の電子なのでしょうか？ (1)Ｋ殻準位から飛び出すだけの １次線エネルギーが無ければ飛ばされない (2)充分な１次線エネルギー量があれば プランクの法則によりＫ殻準位から励起される確率が一番大きいですが 外殻からの励起も起こっています。 電子殻の準位は化学結合などの状況によっても影響を受けますので 準位差が反映される蛍光X線の波長にも影響を及ぼします。 １次線エネルギーがＫ殻からの励起ギリギリであった場合 Ｋ殻から原子外には飛び出せずＬＭＮ殻などへの励起に足る分の エネルギーしか受け取れませんが 遷移するためにはＬＭＮ殻などに予め空孔が無ければならず 外電子殻の構造に励起確率が影響を受ける事になり ２次Ｘ線の強度が変わります。
複数でしょうね SEM のEDX 装置による定性・定量分析・・・・ http://etech.engg.nagoya-u.ac.jp/gihou/v14/020.pdf 特性Ｘ線は電子が遷移したときの軌道間エネルギーの違いによって数多く存在する 図-1 おもな特性X 線の種類と呼称 図-2 エネルギー分散型Ｘ線分析装置によるFe 標準試料のＸ線スペクトル →３本
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