パラジウムの選択エッチング液を探しています
- 金とパラジウムが積層された膜のエッチング液を探しています。
- 金はエッチングされず、パラジウムだけを選択的にエッチングできる液体を求めています。
- エッチング条件や薬品の調合方法についても教えていただけると幸いです。
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パラジウム（Ｐd）のエッチング液について
金（Ａｕ）とパラジウム（Ｐｄ）が積層されている膜について、金（Ａｕ）はエッチングされず、パラジウム（Ｐｄ）だけを選択エッチングできるエッチング液を探しています。ちなみにＰd厚は０．２μm程度、Ａｕ厚は数μｍ程度となっています。なお、電解でのエッチングは不可という制約があります。薬品の調合が必要であれば、それぞれの薬品名と調合の割合などを。また、エッチングの条件（温度？、時間？）など、情報は詳しい方がありがたいです。とても困っていますので、ぜひともよろしくお願いします。
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東京応化さん等の薬品メーカーに確認された方が良いと思いますよ。 エッチング条件（温度？、時間？）があるので。 それに、実際の使用となると純度が問題になるから。 使用時に、不純物でドーピングしてはいけないし。 この工程ではなく、次工程に持ち出してドーピングする場合もあるので、 やはり、購入も含めて薬品メーカーに確認された方が良いです。
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