熱電対の使用について
- 開放型Ｒタイプの熱電対を１３００℃の雰囲気で高純度Ｓｉｃ（ＴＰＳＳ－Ｕ）へ接触さて使用した場合、何か問題が発生するでしょうか？
- 白金の接合部を直接Ｓｉｃへ接触させます。
- 今回の目的は測温ではありません。Ｓｉｃに金属を接触させたときに何か化学反応するかどうかと言うことです。同様の雰囲気中で使用されるものなので熱電対を流用しようと考えました。
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熱電対について
開放型Ｒタイプの熱電対を１３００℃の雰囲気で高純度Ｓｉｃ （ＴＰＳＳ－Ｕ）へ接触さて使用した場合、何か問題が発生するでしょうか？ 白金の接合部を直接Ｓｉｃへ接触させます。 宜しくお願い致します。 早速のご回答ありがとうございます。 説明不足でした。 今回の目的は測温ではありません。 Ｓｉｃに金属を接触させたときに何か化学反応するかどうかと言うことです。 同様の雰囲気中で使用されるものなので熱電対を流用しようと考えました。
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詳しくはわかりませんが、開放型は一般的に端子が外に出ているものです。 通常は、端子は炉外に出ているので、熱電対とSiCの反応について述べさせて頂きます。Ｒ熱電対には、保護管があり、セラミックが一般的でアルミナが主流と思います。直接、白金が出ているのではありません（中身を出して測定するのであれば、還元雰囲気にご注意ください。その場合は、わかりません）。アルミナとSiCの反応はあまり聞いたことはありませんが、その程度の温度であれば、放射温度計が一般的です。放射温度計を使用しないとうことであれば、低温からの温度制御をしたく、じっくり焼きたいがためと想像します。どの程度の純度が必要かわかりませんが、数千ppmオーダーであれば問題ないと思います。高純度SiCガスをCVDするために被処理物の温度を測定するのか？高純度SiCの成型体を焼結するために温度を測るのかわかりませんので、この程度の回答です。
工業炉ではSIC（炭化ケイ素）を使用してステンレスのトレイとか乗せて るので問題ないですが、白金が科学反応するかは、日本ガイシと言う SICを作ってる会社があるので052-872-7172聞いてみてください。
aoto様 1300℃の雰囲気で sicに接触させて、sicの温度を測定してるのでしょうか？ どこの温度を測るかでsicの温度でなければ、炉内雰囲気温度を 計測なら、sicの温度は急には下がらないので間違ったデータ になると思うのですが。
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