蒸着とスパッタの違いとは?
- 蒸着とスパッタについて簡単な説明をお伝えします。
- 蒸着とスパッタは、物質を薄膜状にするための技術です。
- 蒸着は物質を加熱し、その蒸気を基板上に凝縮させる方法であり、スパッタは物質をイオン化し、基板に向けて加速させる方法です。
- 締切済み
蒸着とスパッタの違い
- みんなの回答 (3)
- 専門家の回答
みんなの回答
蒸着は、熱をかけ(電子銃や抵抗線)温度を上げ成膜する材料を蒸発させ基板に堆積させます。従って、融点の高い材料は不向きといわれています。融点の高い金属などには次のスパッタが用いられます。 スパッタは、ターゲット(成膜しる材料の塊)に粒子(一般にはプラズマで生成したアルゴンイオン)を当てると、ターゲットから成膜材料が飛び挿してくる現象(スパッタリング現象)を利用しています。飛び出した材料は基板に堆積します。熱はかけていません。 成膜材料の基板へのスピード(堆積時)は、一般にスッパッタのほうが高速なため、蒸着よりスパッタのほうが膜の密着性が良いといわれています。
http://kinoufilm.nof.co.jp/terms/ 『蒸着』『スパッタ』欄を参照下さい。 より、用途的には、以下を参照して下さい。 http://www.jeol.co.jp/technical/dictionary/SEMTerms/03.htm 以上は、『蒸着』『スパッタ』『用語』検索した内容です。 半導体等のプロセスでよく使用します。
関連するQ&A
- 真空蒸着、スパッタで・・・
工学部4回生の者です。 薄膜の界面強度に対する温度依存性を研究しています。 融点の低い材料を基板に真空蒸着かスパッタでつけたいんですが、はんだ(Sn合金)をSiやSiO2に直接蒸着させることは可能でしょうか? 工業的には、NiやAuをはんだと基板の間にはさんで金属間化合物を形成してつけているらしいですが、解析が困難になるのでできれば直接つけたいと考えています。 また、低融点材料ー基板のいい組み合わせを知っている方がいたら何でもいいので教えてください。 長い質問ですいませんm(_ _)m
- ベストアンサー
- 物理学
- スパッタ蒸着のバラツキに関して
スパッタ蒸着で反射面のバラツキに関して困っています。 目視で確認する限りでは色味に変化はないのですが 反射面の光度が安定しない現象が起きています。 ※OKWAVEより補足:「技術の森( 表面処理技術)」についての質問です。
- 締切済み
- メッキ
- 素人でもわかるスパッタ
素人でもわかるようなスパッタの原理とかが 載っているホームページを探しています。 高校生ぐらいにでもわかるようなものがあれば嬉しいです。 よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 物理学
- ホイールの、ポリッシュ・スパッタ・クローム てどんなの?
ホイールをみていると、ポリッシュやスパッタやクロームとかいてあります。クロームはピカピカなんだろうなというのはなんとなくわかるようになってきたのですが、スパッタもピカピカ? ポリッシュは少し曇ったかんじでしょうか? いちばん謎なのはスパッタとクロームの違いです。 どなたか教えてください。
- ベストアンサー
- 国産車
- めっきと蒸着について
私は機械工学科の大学生なんですが、ご質問があります。 めっきについて学習しているのですが、 めっきと蒸着の違いがよく分かりません。 どちらも同じような気がするのですが、 何が違うのか教えてください。
- 締切済み
- メッキ