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素人でもわかるスパッタ
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探した結果 http://mos.ec.t.kanazawa-u.ac.jp/ のサイトが1番わかりやすかったですよ。
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- taknt
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以下のサイトでわかるかなぁ？ http://www.linkclub.or.jp/~shiiki/ionindex.html http://www.tsuyama-ct.ac.jp/nakamura/kenkyu/node4.html
お礼
いろいろ調べていただいてありがとうございました。 たしかに高校生レベルで説明するのって難しいですよね。 もうちょっと詳しくのっていて、理論的なものとかあれば嬉しいです。（レベルは関係なく） 何かいいホームページを見つけたらよろしくお願いします。
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お礼
ご返事が遅くなって申し訳ありません。 イオンガンの原理とかも図付きで丁寧に書かれていてわかりやすかったです。 あと、できればもうちょっと詳しくのっていて、理論的なものとかあれば嬉しいです。（スパッタ収率のことなど） よろしくお願いいたします。