金スパッタ膜厚とレーザー透過率
- キーエンスのレーザー顕微鏡でポリイミド膜上の銅再配線の膜厚を測定したい
- ポリイミドを透過するため測定ができないため、金スパッタ膜を反射させる方法を考えている
- 金スパッタ膜の膜厚はどのくらい必要か教えてほしい
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金スパッタ膜厚とレーザー透過率
キーエンスのレーザー顕微鏡（VK-8500)にてポリイミド膜上の銅再配線の膜厚を測定したいのですが、ポリイミドをレーザー（650nm）が透過してしまいうまく測定出来ません、そこで金をスパッタリングしてポリイミド表面にて反射させようと思います。 その際に必要となる金スパッタ膜の膜厚は最低限どのくらいの厚みが必要でしょうか？ スパッタ膜質にも関係するかと思いますがおおよその厚みが判る方がおられましたらご教授下さい
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jtamさん、こんにちは 私も以前、レーザーテック社のレーザー顕微鏡を 使っていたことがあります。銅配線上ではレーザー光の 反射率が高く、ポリイミド上では極端に低い。 反射光強度差が非常に大きく、レーザー顕微鏡の 受光素子の感度の範囲を超えるために両方の信号 を同時に拾うことが出来ない、という問題ですね。 私も透明膜上（SiO2）からの反射光を拾うのに苦労した経験があります。 すみません、本題に入ります。 東京農工大学さんのホームページに参考データ を見つけたのでご参照ください。 ガラス上のAu薄膜のデータですが、 700nmの光に対する反射率は 50nmで92%、30nmで79% となっています。 650nmでも大差ないと考えられますので、Au薄膜 の厚さを30nm前後で数ポイント振って、 よい条件を探されては如何でしょう？
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