超深度顕微鏡での測定のノイズ対策方法
- 超深度顕微鏡での幅・高さ計測においてノイズが問題となっています。
- フィルター処理を行っても3D形状ではノイズが除去されていません。
- キーエンスのVK8500を使用し、試料Cuの幅40μm間隔の６本線、高さ40μmを計測しています。
- 締切済み
超深度顕微鏡での測定
超深度顕微鏡（レーザ顕微鏡）での幅・高さ計測を行なっているのですが、ノイズがひどく思うような計測が出来ません。 一応、フィルター処理は行っているのですが、３Ｄ形状（高低表示）するとノイズが完全除去できていません。 どのようにすればノイズレスな計測が出来るのでしょうか。 ちなみに使用機種はキーエンスのVK8500 計測試料Cu 寸法は幅40μm間隔の６本線（線太さも40μｍ）、高さ40μmです。
- その他（品質管理）
- 回答数2
- ありがとう数1
- みんなの回答 （2）
- 専門家の回答
みんなの回答
測定ポイントに比べて 測定面の安定している面の大きさが十分に大きくなっていますか。 共焦点タイプなら最大光量を持って焦点としているはずですので。 一度、倍率を大きくして改善されないか試験してみてください。
一般に光学測定ではコントラストをあげることがたいせつです。 銅は波長の長い光の反射率がよく、赤色レーザーを用いた測定では問題が生じることがよくあります。 黒化処理などで全体の反射率を押さえたときにノイズが減るのであれば原因の決め手になりますので、一度試してみることをお勧めします。
関連するQ&A
- レーザー顕微鏡VK-8500
キーエンスのレーザー顕微鏡VK-8500を使用しているのですが、この顕微鏡のスポットサイズ分かる方いませんか？焦点でのレーザーの幅(半径or直径)です。 サイトなど見ても載っていなくて。マニュアルは誰かが持ち帰ってしまった様で、且つ皆海外です(汗)急いでいるので投稿させて頂きました。お願いします。
- 締切済み
- その他（学問・教育）
- プリント配線のＣｕ厚み測定
プリント配線（線幅１００μｍ程度）のＣｕ厚みが、規格値２０±４μｍのものに対しては、 どのような計測方法が適切なのでしょうか？ 規格幅が８μｍなので、繰り返し精度は±０．５μｍぐらいが要求されるのでしょうか？ この要求を満たし、触針を接触させて計測する計測機器は有りますでしょうか？ 非接触式の計測機器であれば、どのようなものが良いのでしょうか？ どなたか教えて頂けないでしょうか？よろしくお願い致します。
- 締切済み
- その他（品質管理）
- レーザ顕微鏡を用いた表面観察の不具合について
鏡面研磨したφ5mmのCuの表面をレーザ顕微鏡を用いて観察しています。 一回の観察範囲が1×1.5mm程度と狭いので4・5枚の高低差の結果をつなぎ合わせて、表面が全体としてどの程度丸みを帯びているかについて計測したいのですが、結果をうまくつなぎ合わせることができず、波打ったようになってしまうんですが、いい解決法等はありませんでしょうか？ よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- 測定・分析
- 断面積が一定でない材料の比抵抗の計算
断面積が一定でない材料の比抵抗の計算 表題の通りです。 断面積が一定でない、材料の抵抗値を計測しました。 その値と試料の寸法から比抵抗を求めたいのですが、試料の断面積が一定ではありません。 試料は「П」形状のセラミックスで、厚さは一定です。縦棒部の幅が3mmで、横棒部の幅が5mmとなっています。角の角度は全て直角です。 比抵抗を求める計算式を教えてください。
- ベストアンサー
- 物理学
- 目盛の標準品（μm）
表題にもある目盛の標準品となる物が必要になり、検討していたのですが見つかりません。下記の内容を満足できる標準品を用意できるメーカー様等がありましたらご教示願います。 １．対象は針金のような物。 ２．顕微鏡の画面をモニターに映し、5～7μmであることを実証したい。 (1)標準品で（例えば）6μmを確認する。(A点-B点が6μmと) (2)標準品で確認した距離と、検査対象が同等であることを確認する。 ※私が考えている標準品は、スケール又は幅5～7μmの線(出来れば白地に黒線)ですが、特にそれらに固執はしません。 以上、宜しくお願いいたします。
- ベストアンサー
- その他（ビジネス・キャリア）
- ミクロメーターについて
こんにちは。 高1の女子です。 理科総合の課題で、ミクロメーターについてのレポートがあるのですが、全然意味がわかりません´Δ｀ というわけでいくつか質問したいことがあります。 定規の目盛りが本当に1mmかを計測しよう。という式が定規1mmの長さ＝何分の何かわかりません。 ちなみに単位はμmです。 それから、紙に鉛筆で線を引いて、その幅を求めよう。という式も何分の何かわかりません。 最後に、「対物ミクロメーターの目盛りの数÷接眼ミクロメーターの目盛りの数×10μm」という公式でなぜ接眼ミクロメーター1目盛りの長さを求められるのか説明せよ。という問題も全くわかりません！！ 非常に長々と書いてしまいましたが、誰かわかる方いましたらご回答お願いします。
- ベストアンサー
- 生物学
- 光学顕微鏡の焦点深度について
光学顕微鏡について教えてください。 今度、試験を受けるのですが、その中の過去の問題に、 「光学顕微鏡の焦点深度は、（顕微鏡の）総合倍率に比例する。」 「光学顕微鏡の焦点深度は、（顕微鏡の）倍率の2乗に比例する。」 ○か×かと言う問題があったのですが、教えてもらえますか。 私は、倍率が高くなるほど、焦点深度は浅くなるので、倍率に反比例すると思うのですが、いかがでしょうか。 よろしくお願いします。
- ベストアンサー
- その他（学問・教育）
- 実体顕微鏡の焦点深度
ニコンのものが欲しかったのですが、結構高く、ジャンクのオリンパスVB454を割安でゲットしました。 使ってみると殆ど平面でしか見れず、立体的には見れません。 ニコンの同種のものを使った経験では、もっと立体的に見れていたような---。 つまりこれは焦点深度が浅いのだろうと思いますが。 機種剪定に失敗したのでしょうか。それとも本来、実体顕微鏡とはこのようなもの？ http://www.olympus.co.jp/jp/insg/ind-micro/terms/focal_depth.cfm レンズを交換するとかして焦点深度を拡げる手はないのでしょうか？
- ベストアンサー
- 科学
- 測定顕微鏡の校正について
社内にて測定顕微鏡と万能投影機の校正を行うことを検討しておりますが、 どのような基準スケールが必要でどのような方法で行うのか、また判定 基準をどのようにすべきか悩んでおります。 ミツトヨなどで販売している、ガラス製の基準スケールで目盛の中点を 測定し、スケールの目盛と実測値との差異でＸ-Ｙ方向の誤差を測定 しようと考えております。 （＊規格はＸ-Ｙ各誤差 ３＋（Ｌ/５０）μm以内がメーカー規格） そこで質問です。 ?上記の確認方法は妥当でしょうか？またこれ以外に校正の差異に必要と なるポイントとは何でしょうか？ ?ガラス製の基準スケールの精度・目盛線の幅・目盛線の間隔などはどの 程度のものを使用するのが妥当なのでしょうか。 ?基準十字スケールとはどのようなものでどのように使用するものなので しょうか。 ?十字線入ミラーとはどのようなもので何に使用するのでしょうか。 いろいろと投げかけておりまして申し訳ありませんが、ご存知の方が いらっしゃいましたら教えて下さい。
- ベストアンサー
- ISO
お礼
大変参考になりました。 黒化処理を施しても良い試料である為、早速実行してみます。