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クリーンルームのクラス表記について教えて下さい。
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クラス1000. 一立方フィート中 0.5ミクロン以上の微粒子が1000個以下だと 根拠:FED-STD-209D >大気中のクリーン度をクラスで表すと、いくら位でしょうか? 上記により、 1立方フィートの大気中に、 0.5ミクロン以上の微粒子数によります。 ただし、FED-STD-209Dのクラス上限値が、 283,000しかないので、示しようがないと思います。 また、清浄度合いを表すための規格ですので、 通常の大氣内の数量をあらわす必要がないです。
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