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水中に浸漬したウェーハを輸送可能な容器について
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「ウェーハの輸送」と「純水または過酸化水素水の輸送」の両方が可能な1つの容器を使うのではなく、PFA等の過酸化水素水にも侵されない材質で作られている通常のウェーハの輸送容器と、SUS316L等の過酸化水素水にも侵されない材質で作られている蓋付き広口タンクを用意し、そのタンクの蓋に雄コネクターなどを使用して真上方向にチューブを取り付け、そのチューブの先には外部の埃の侵入を防ぐための手動弁を取り付けておいた上で、ウェーハの輸送容器をタンク内に固定し、液が波うたない様にするために、タンク内を完全に液で満たす様にされては如何でしょうか？
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- empty_blue
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ちょっと自分は聞いたことないですね。 ウェハーキャリアの製造メーカーに問い合わせたらどうでしょうか? 自分の知る限り製造工程での液浸(?)での搬送はなかったので結構特殊な扱いになるのではないでしょうか?
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お礼
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