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シリコンウエハーの親水化
シリコンウエハーの表面は疎水性だと思うのですが、この表面を親水性にすることは可能でしょうか?可能でしたらそのやり方を教えていただきたいです。よろしくお願いします。
- kara9kara9
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- emden
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疎水性とは限りません。処理に応じて、表面を疎水性にしたり親水性にしたりします。 親水性にするためには、表面に-OHをつけるような処理をします。界面活性剤やアルコールなどを使います。
- sanori
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ありますよ。 実際使われてます。 この例の場合は、シリコンではなくて、ガラス(SiO2)やフォトレジストの表面の親水化が、主な目的ですが、 SiO2に穴を開ける工程(コンタクト孔を開ける工程)で、BHF(バッファード弗酸)の液を使ってSiO2を溶かすときに、界面活性剤処理を行ないます。 界面活性剤とは、すなわち、石鹸みたいなものです。
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