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シリコンウエハについて

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シリコンウエハを2枚重ねてくっつけるような技術は,あるのでしょうか?
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回答 (全2件)

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レベル12

ベストアンサー率 37% (260/696)

はい、あります。 最近(数年前?)では、片方のウエハーの表面を酸化させSiO2を形成します。そのSiO2側にシリコンウエハーを重ねSi-SiO2-Siとします。 これをSOI技術と言い基盤を通してのノイズの減少に役立てたり、基盤への通過電流を押さえ低電力ICを作る際に利用します。
はい、あります。
最近(数年前?)では、片方のウエハーの表面を酸化させSiO2を形成します。そのSiO2側にシリコンウエハーを重ねSi-SiO2-Siとします。 これをSOI技術と言い基盤を通してのノイズの減少に役立てたり、基盤への通過電流を押さえ低電力ICを作る際に利用します。

  • 回答No.2
レベル11

ベストアンサー率 38% (116/304)

くっつけると言っても、接着剤でくっつけるわけではないですよね? ちょっと質問内容に具体性が乏しいので、補足をお願いしたいです。 ところで、シリコンウエハ同士ではないのですが、シリコンウエハとガラスをくっつけるのに、「陽極接合」という技術を使います。 ウエハとガラスを接触させておき、電気を流す事で、ガラス中の成分がシリコンと反応して化合物を作り、くっつくそうです。 詳しく書かれたHPを見つけ ...続きを読む
くっつけると言っても、接着剤でくっつけるわけではないですよね?
ちょっと質問内容に具体性が乏しいので、補足をお願いしたいです。

ところで、シリコンウエハ同士ではないのですが、シリコンウエハとガラスをくっつけるのに、「陽極接合」という技術を使います。
ウエハとガラスを接触させておき、電気を流す事で、ガラス中の成分がシリコンと反応して化合物を作り、くっつくそうです。

詳しく書かれたHPを見つけられなかったので、専門書などを探してください。
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