Siのウエットエッジング

質問

数年前から研究室の片隅にあったSiウエハーを急に使うことになりました. しかし, 大気中に放置されていたため酸化膜が形成され表面抵抗も１MΩ程でした(一応, ケースには10～50Ωと・・・). そこでフッ化水素酸を使って表面をエッジングしろと教授に言われたのですが, フッ化水素を使う上で必要なものは何でしょうか? 自分で調べた範囲では, ドラフトとPE製の容器、防毒マスク、手袋などですが、手袋もPE製でいいのでしょうか？ また、他にも必要なものはなんですか？

回答No.3

TEOS · ベストアンサー

濃いＨＦが皮膚についたら、肉、骨まで遣られる、最悪な薬傷になります。　すぐさまに皮膚洗浄しても、侵食されて激痛が
起こります。　ゴム手袋も二重、ＨＦに耐える耐酸ゴム手袋が必要。　ゴーグル、マスクも必要。
希釈して、洗浄して効果が有るはず。　金属シリコンを洗った記憶が有るので。

アルカリでも、効果が無いか確かめて下さい。　ガラス器具の洗浄で　ＫＯＨ水＋ＩＰＡで汚れを落とす。ガラスも溶ける。

シリコンウエハーを、細かいシリカが入った洗浄液を流しながら、自動研磨機で磨いた事も有るよ。

他の人も書いてるように、ＨＦは自分で危険性を調べて使用下さい。　骨まで溶ける危険性が有る。
私の会社には、ＨＦ薬傷用軟膏と、カルシウムきっこ剤の注射アンプルが常備してある。

お礼

丁寧な回答ありがとうございます. HF以外でも洗浄できるのは,はじめて知りました. 私の大学には, お金がないので自動研磨機はありませんがTEOSさんの回答はかなり参考になりました. もっと, 色々調べてみようと思います. ありがとうございました.

回答No.2

c80s3xxx

使ってはいけません．
フッ酸のような危険なものを，学生が勝手に調べた程度で使わせるというのは，教授が間違っています．
適切な指導を直接にできないなら，やらせてはいけないのです．そんなこともわからない教授は，時代錯誤もいいところです．頭がおかしいと言われてもしょうがない．
いずれにしても，自分で調べたとか，こんなところで聞いてきたというレベルでは「絶対にフッ酸を使ってはいけません」．

ちなみに，エッチングです．エッジングじゃなく．

お礼

心配していただいてありがとうございます.しかし, うちの教授は研究室＝会社と考えているらしいので命令は絶対です. 何とか, 経験者の教授を探しだして指導していただこうと思います. あと, ご指摘ありがとうございます.エッジングではなくエッチングですね.

回答No.1

noname#160321

できれば鉛張りのドラフトが必要ですし、テフロン製の容器がお薦めです。防毒マスクもＨＦ用のものがあるはずです。
運良く私はまだ自分自身でＨＦを「大量に」使う経験はないです。
最後に大量に使ったのは四十五年前の学生実験の時。(笑)

お礼

さっそくの回答ありがとうございます. 残念ながらうちの大学には標準的なドラフト設備しかないので, やっぱり難しいですかね・・・. HFの変わりに王水かSHでやれば普通のドラフトでもいけるんですかね(・・?)