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SiO2について教えて下さい。

シリコンの表面にできる酸化膜のSiO2と石英などのSiO2は その構造は同じなのでしょうか? SiO2は非晶質だと聞いたので、全く同じものだと考えて良いのでしょうか?

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  • shintaro-2
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回答No.1

SiO2といえでも結晶があります。 石英は通常多結晶です。 Si表面のSiO2は、下地がSi基板なので結晶性にどれくらい影響を与えるか微妙ですが、まあ非晶質でしょう。 石英でも、石英ガラスは非晶質です。

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質問者

お礼

回答ありがとうございます。 ではシリコンの上のSiO2と石英ガラスのSiO2は仕事関数なども含めて 全く同じものであると考えて良いのでしょうか?

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