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ＳｉＯ２の破壊強度の調べ方について
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Siを酸化したとき出来るSiO2は、薄膜ですので評価方法としてはインデンテーション法があります。 解説はURLを参考にしてください。 測定も行っているみたいです。 問い合わせをしてみたらいかがですか？
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お礼
回答ありがとうございます。 このような方法があるとは知らなかったので参考になりました。