- ベストアンサー
XPSにおけるSiCのピーク
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
質問者が選んだベストアンサー
SiCのピークは Si（97-111eV)とC（280-292eV)の２つ範囲にて確認できます。 SiCのカーボンからの光電子ピークは 283.2±0.2eVに確認できます。 しかし、284.6eV付近にDLCのカーボンが現れる為、波形分離無しでは 確認出来ません。その場合、1)可能な限り少ないピーク本数で、 2)裾野は出来るだけ合うように分離する。 そうすれば、おおよその比率も計算できます。 半値幅は 1.8eVぐらいで合うはずです。 Si側のピークは過去測定データをひっくり返さないと忘れましたので、 申し訳ございませんが回答いたしません。 アルバックファイ発行のデータファイル または、島津製作所の装置 取扱説明書別表のケミカルシフト欄に記載あります。 XPS分析から離れて久しいので、以前調査した分析記憶を頼りに回答致します。
関連するQ&A
- XPS(ESCA)解析法
スライドガラス上へ有機薄膜(数nm程度)を作製し、XPSで測定を行いました。 ケミカルシフトから化学状態（結合等）がわかるとありますが、 どのような計算をしなければいけないのですか？ 手順を教えて下さい！ また、文献や資料を読むとピーク値が非常に正確であるようですが 「だいたいこの値」などと安易に考えては駄目なんでしょうか。 ラマン測定などと違って(厳密に言えばこれも正確ですが)。 例えば、基板のスライドガラスを測定した場合、Si2pでは106.1で ピークを確認しましたが、文献ではSiO2は103.4でピークが発現すると あります。確かにスライドガラスはSiO2のみで形成されてはいませんが SiO2が最も多く含まれるものであり、測定値(106.1)をSiO2と見なし、 全体的に2.7だけシフトしていると考えました。 有機薄膜を作製したもので同じようにSi2pでの測定を行うと106でピークが 発現しました。文献値からは2.6シフトしていて、これもSiO2のピークかと 考えましたが、有機薄膜中にもSi元素を微量に含むため、2.6のシフトを 化学状態の変化とみなすか否かでも考え込んでいます。ちなみに、ピークの強度はスライドガラスよりも小さくなっています。 どんな場合では全体のシフトとみなすか等、指針となっているものがあれば 教えて下さい。 「X線で何がわかるか」加藤誠軌著、「X線分光分析」加藤誠軌/編著、 島津製作所さんの講習会テキストなどを読んでみましたが、 やはり実際頻繁に測定を行っている方からお聞きしたいです。 宜しくお願いします。
- ベストアンサー
- 物理学
- XPSの精度について
XPSで金属試料を測定しているときに 例えば20回同じ条件で測定してその平均を取る場合で、 時々、明らかに違う強度のバックグラウンドとピーク高さがでる時があります。 これは高くなるときもあり、また低くなるときもあります。 これじゃ平均するにしてもばらつきが出てしまいますよね・・。 これはX線を試料に当てていても、 同じ時間間隔で光電子が放出されていないということでしょうか。 また測定しているうちに試料に気体分子が吸着してIMFP（光電子の非弾性衝突を意味する平均自由行程）が変化することがあるのでしょうか。 それとも私が扱っている機器に何らかの支障があるのか・・・・。 X線源の配線が一本切れやすくなっているのもあります。。 （切れるたびにハンダで修理してます） アドバイスを戴けたら幸いです。
- ベストアンサー
- 科学
- (1)XRDの原理 (2)各ピークのミラー指数
前提として、私は固体物理学や結晶学が苦手だということをお伝えさせていただきます。 まず、XRDはX線を（粉末）試料に当てた時の回折現象を測定していて、ブラッグの式 2dsinθ=nλに当てはまる回折X線がピークとして観測されている、と私は把握しています。 (1)この時観測されるピークは、基本的にn=1の時のものだけだと伺いました。なぜn=2,3,・・・のピークは観測されないのでしょうか。難しいことは理解できないかもしれないので、簡単で結構です。 また、私は昨日ある固体試料に対してXRD測定を行いました。いくつかのピークが観測され、文献を用いてそれぞれのピークを「(001),(003),(005)・・・」と同定しました。この(001)等は固体試料の単位格子に対するミラー指数であり、それぞれのピークが観測される2θの値から、ミラー指数が示す方向の「層間距離d？」を求めました。。 (2)(001)ピークから求めるdは単位格子のz軸（深さ）方向の長さでしょうか？そもそも、(003)や(005)が示す面はどこを示しているのでしょうか？また、それぞれのピークから求めたd値は何を表しているのでしょうか？ (3)その他、ソフトウェアを使わずに、XRDスペクトルから簡単に読み取れる情報はなにかあるでしょうか？今回私が行った測定は、ある固体試料のXRDと、その固体を担体として金属を担持させた試料の２種以上のXRDを測定して、スペクトルを比較し、金属の担持具合を予想しようというものでした。 一部だけでもよいので、ぜひ回答をいただきたいです。理解が浅く、ちぐはぐな質問になっていると思いますが、よろしくお願い致します。
- 締切済み
- 化学
- 人工ダイヤモンドの作り方
人工ダイヤモンドは様々な方法で作製されていると聞きました。その中のCVDダイヤモンドについてなのですが、調べると、下地にダイヤモンドもしくはSi基板を用い、真空チャンバーに炭化水素と水素を導入し、熱やプラズマで、原子状水素を発生させると合成される（？）。いまいちダイヤモンドができる理由がわかりません。ネットで作製方法を見ても難しく、作製のイメージできませんでした。 結晶工学は素人ゆえ分かりやすい説明、まずはこれを勉強しなさいというご指摘、もしくは参考URL等、教えていただけないでしょうか。宜しくお願い致します。
- ベストアンサー
- 物理学
- つまらない質問
今度はつまらない質問なんですが、 ・Siウエハーを用いてRHEEDパターンをとる時に研磨面ではなく光沢のない面を用いるように言われました。なぜなんでしょうか？研磨面の方がきれいなパターンがきれいに見えると思ったのですが。 ・基板上に堆積した薄膜の色はバンド構造を知れば、どういう色になるのかわかると聞きました。どういう方法でわかるのか教えてください。 ・とても単純な疑問なんですが、真空装置を用いるときに試料を取付けたりする作業中はアルミホイルの上で行いますが、キムワイプとかの上でやったほうがきれいな気がするのですが。。。なぜなんでしょうか？？？ ・イオン銃の電流密度の測定法がよくわかりません。参考になるHPでも構いませんので。。。 わかるものだけでも構いませんので、暇な時にご回答よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 物理学
- インピーダンス測定による誘電率算出方法
当方，この分野に入りたての素人です。 とある未知の半導体粒子のドナー密度をMott-Schottkyプロットから求めたいのですが，未知試料の誘電率が分かりません。それでインピーダンス測定から得られるキャパシタンスから算出しようと考えているのですが，その時の測定条件としては印加電位0Vの値を用いればよいでしょうか？ また，その0Vにおいて抵抗値が大きすぎるなどでインピーダンスが発散して解析可能な半円が観測できない可能性があるのですが，その場合0Vのキャパシタンス値としてMott-Shottkyプロットで得られた直線の外層値を用いても良いでしょうか？ もし以上の方法で誘電率が求められない場合，他に簡易的に誘電率を求める方法があればご教授くだされば幸いです。 因みにドナー密度算出に用いる誘電率の値はバルクの値でなければならないでしょうか？未知試料は粒子堆積膜なのでバルクの値と大きく違うと予想されるので，その薄膜試料から得られた値を用いて算出した値に意義や妥当性があるのかを知りたいです。
- 締切済み
- 物理学
- RNA純度の算出 理想値より高い場合は？
肝臓から単離したRNA試料のコンタミを調べるため、230、258、280nmにおける吸光度を測定し、 OD258/OD230 OD258/OD280 の比を計算してみたのですが、ある試料でOD258/OD230の値が6.8になってしまいました。他の試料では理想値の1.8～2.0付近の値がでました。 258/280値は理想値の範囲内だったので、258/230値が高いということは、糖がほとんど存在しないのだろうかと推測しました。ただひっかかったのは、 「核酸の純度が高ければ、この数値が1.8～2.0になる」という記述です。これより低いとコンタミが考えられる、では高いと問題はあるということでしょうか？
- ベストアンサー
- 生物学
- 医薬品塩酸塩のLC-MSMS分析について。
塩酸塩の形態の医薬品をLC-MSMSのMRMで分析すると、 目的ピークとは別にもう１本ピークが現れます。 何かのコンタミ等かとも考えたのですが、十数種類の医薬品を同時に測っており、 シリンジ等使用器具も同じであるのに、なぜか塩酸塩のものにだけ２本ピークが現れます。 MRMなのでそれぞれ測定質量数も異なるにも関わらず、塩酸塩の医薬品数種類全てにおいて謎のピークは全く同じRT（２分くらい）に存在しています。 このピークは何なのか、何故出るのか。 原因がわからず困っています。 ちなみに試料溶媒はメタノール、 溶離液は0.1％ぎ酸溶液、0.1％ぎ酸アセトニトリルでグラジエントをかけてます。 どなたかご教授頂けましたら幸いです。
- 締切済み
- 化学
お礼
詳細な説明ありがとうございます！ 大変参考になりました。