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クライオポンプから水？？
最近、スパッタリング装置の排気系に水が溜まるようになりました。 溜まる場所はロータリーポンプのオイル室です。 オイルに水が混入して乳白色になっています。 スパッタチャンバーの排気はクライオポンプがあり、後段にメカニカルブースターポンプとロータリーポンプがあります。 知人からクライオポンプを再生（リジェネ）するときに水が出ることがあると聞きました。 しかし”特定の条件がそろうと水が出る”ようなことを言っていましたが詳しくは聞き出せませんでした。 なぜ水が出るのか、どのような条件（状態）で水が出るのか教えてください。
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- siegmund
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お礼
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