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成膜工程

成膜工程について、アルミの例をあげて説明せよ。 という課題が出されたのですが、、全体的ん流れがよくわかりません。 ネットで探してもよさそうなものが出てこないんです。。 だれか教えてください!! また、いいサイトがあったら教えてください。

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  • sanori
  • ベストアンサー率48% (5664/11798)
回答No.1

こんにちは。 半導体関連の、元開発技術者です。 LSIの製造工程では、もっぱらスパッタリングが用いられます。 スパッタリング http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF&lr= ほかには、 蒸着 http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E8%92%B8%E7%9D%80&lr= めっき http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E3%82%A2%E3%83%AB%E3%83%9F%E3%80%80%E3%82%81%E3%81%A3%E3%81%8D&lr= 以上で十分です。

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