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SiOx膜の蒸着について
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- tama1978
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蒸着装置でSiOｘを薄膜したことないのですが、少し文献を見てみました。装置の条件で異なると思うのですが、 酸化物の蒸気圧表では、（蒸着装置の使用圧力10^-5～10^-2Pa程度の範囲で書きます） SiOの蒸気圧表 1.33*10^-2Pa:1700K 1.33*10^-3Pa:1200K SiO2の蒸気圧表 1.33*10^-4Pa:～1470K 1.33*10^-5Pa:～1270K でした。あくまで参考データですので。 使用されている抵抗加熱の出力は、どうでしょうか？ http://www.shincron.co.jp/technical/pdf/04-1.pdf
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