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CVDについて教えて下さい。
kentschanの回答
- kentschan
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CVDが化学気相析出のことだと仮定して，その用途について補足します。 既に下の方がお答えのように半導体集積回路で広く使われており，非常に重要な技術です。 また，CVDの用途としては最も大きい市場だと思います。 半導体上に回路を作製する製造プロセスで，配線の間の絶縁膜や， 表面を保護する薄膜の作製に広く使われています。 この用途としては酸化シリコンや窒化シリコンが一般的で，例えば酸化シリコンの場合だと SiH4とO2のガスを基板上に送り込み，加熱やプラズマによって反応させて，薄膜を堆積させます。
- noname#211914
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