-PR-
締切り
済み

CVDについて教えて下さい。

  • 暇なときにでも
  • 質問No.37466
  • 閲覧数1628
  • ありがとう数10
  • 気になる数0
  • 回答数8
  • コメント数0

お礼率 0% (0/8)

CVDってなんですか?またそれが何に用いられているのかなど教えてください。
通報する
  • 回答数8
  • 気になる
    質問をブックマークします。
    マイページでまとめて確認できます。

回答 (全8件)

  • 回答No.3
レベル11

ベストアンサー率 55% (148/265)

すみません。私も全く質問をとり違えていたようです。 takesamaさんのおっしゃるように、Chemical Vapor Depositionのことのようですね。「何に用いられているのか」と言うご質問に気づかず、失礼いたしました。下記に、URLをひとつのせておきます。 すみませんでした。 ...続きを読む
すみません。私も全く質問をとり違えていたようです。
takesamaさんのおっしゃるように、Chemical Vapor Depositionのことのようですね。「何に用いられているのか」と言うご質問に気づかず、失礼いたしました。下記に、URLをひとつのせておきます。
すみませんでした。


  • 回答No.2
レベル10

ベストアンサー率 24% (29/117)

Chemical Vapor Deposition(化学気相析出)のことでしょうか。 ”薄膜や粒子にしたい材料の構成元素を含む化合物の1種類以上の原料ガスを反応部に供給し、気相または基板表面での化学反応により微粒子や薄膜を作製する方法である。”とありますが、クリーンルームの工場などで見かけますね。 違う分野のことだったらごめんなさい。
Chemical Vapor Deposition(化学気相析出)のことでしょうか。
”薄膜や粒子にしたい材料の構成元素を含む化合物の1種類以上の原料ガスを反応部に供給し、気相または基板表面での化学反応により微粒子や薄膜を作製する方法である。”とありますが、クリーンルームの工場などで見かけますね。
違う分野のことだったらごめんなさい。
  • 回答No.1
レベル11

ベストアンサー率 55% (148/265)

CVO:Cerebro-vascular Disease (脳血管障害)のことでしょうか? 脳の血管が、詰まったり、切れたりして起こる、脳梗塞、脳出血、クモ膜下出血の様な病気のことでは? (医学のことであれば、専門家) (全く別の分野の質問なら、ごめんなさい)
CVO:Cerebro-vascular Disease (脳血管障害)のことでしょうか?
脳の血管が、詰まったり、切れたりして起こる、脳梗塞、脳出血、クモ膜下出血の様な病気のことでは?
(医学のことであれば、専門家)
(全く別の分野の質問なら、ごめんなさい)
  • 回答No.4
レベル10

ベストアンサー率 9% (16/172)

分野の分かるカテゴリーに質問するか、どうゆう脈絡で出てきた言葉か説明するべきでしょう。 また回答者がそんなに下手に出る必要もないと思いますが。
分野の分かるカテゴリーに質問するか、どうゆう脈絡で出てきた言葉か説明するべきでしょう。

また回答者がそんなに下手に出る必要もないと思いますが。
  • 回答No.5

以下の参考URLサイトは参考になりますでしょうか? 「フラーレン生成過程の分子動力学」 ◎http://www.drmi.co.jp/kankou/dirass/dirass_tech/furontiacarbon/ (フロンティアカ-ボンの現状と新展開) さらに成書としては、 ---------------------- PVD・CVD皮膜の基礎と応用/表面技術協会/槙書店/1994.9 ...続きを読む
以下の参考URLサイトは参考になりますでしょうか?
「フラーレン生成過程の分子動力学」
http://www.drmi.co.jp/kankou/dirass/dirass_tech/furontiacarbon/
(フロンティアカ-ボンの現状と新展開)

さらに成書としては、
----------------------
PVD・CVD皮膜の基礎と応用/表面技術協会/槙書店/1994.9 
CVDハンドブック/化学工学会/朝倉書店/1991.6 
プラズマCVD及びプラズマ溶射によるバリアー型耐食…/門哲男/通商産業省工業技術院…/1990.10
--------------------
補足お願いします。
  • 回答No.6
レベル9

ベストアンサー率 20% (7/35)

下にも書かれていますが、恐らく化学気相析出のことですよね。 簡単に言うと、気相法を利用した表面改質技術のひとつだといえますが、その 利用範囲は広いです。 僕の知る限り、窒化炭素や、窒化チタン、窒化アルミ、酸化ハフニウム・・等々です。 いずれも薄膜ということが特徴で、表面を薄膜で覆うことで、 母材にはない特性を寄与させることができます。 具体的には、ドリルなどの切削工具の刃先部分や、ギアの接触部 ...続きを読む
下にも書かれていますが、恐らく化学気相析出のことですよね。
簡単に言うと、気相法を利用した表面改質技術のひとつだといえますが、その
利用範囲は広いです。
僕の知る限り、窒化炭素や、窒化チタン、窒化アルミ、酸化ハフニウム・・等々です。
いずれも薄膜ということが特徴で、表面を薄膜で覆うことで、
母材にはない特性を寄与させることができます。
具体的には、ドリルなどの切削工具の刃先部分や、ギアの接触部分などが
よく聞きます。
一方で、ナノテクノロジーの分野と合わさって、最先端の半導体技術や医療の分野でも、重要なものとなっています。

窒化物や酸化物などは、通常では、金属表面に付着させることはできませんが、高度な真空技術の発展によって、上に書いたようなものが実現できるようになりました。
  • 回答No.7
レベル5

ベストアンサー率 0% (0/0)

CVDが化学気相析出のことだと仮定して,その用途について補足します。 既に下の方がお答えのように半導体集積回路で広く使われており,非常に重要な技術です。 また,CVDの用途としては最も大きい市場だと思います。 半導体上に回路を作製する製造プロセスで,配線の間の絶縁膜や, 表面を保護する薄膜の作製に広く使われています。 この用途としては酸化シリコンや窒化シリコンが一般的で,例えば酸化シリコ ...続きを読む
CVDが化学気相析出のことだと仮定して,その用途について補足します。

既に下の方がお答えのように半導体集積回路で広く使われており,非常に重要な技術です。
また,CVDの用途としては最も大きい市場だと思います。

半導体上に回路を作製する製造プロセスで,配線の間の絶縁膜や,
表面を保護する薄膜の作製に広く使われています。
この用途としては酸化シリコンや窒化シリコンが一般的で,例えば酸化シリコンの場合だと
SiH4とO2のガスを基板上に送り込み,加熱やプラズマによって反応させて,薄膜を堆積させます。
  • 回答No.8
レベル8

ベストアンサー率 22% (14/63)

えっと、CVDがChemical Vapor Depositionだったら補足します。 CVDの半導体への応用ですが、半導体や液晶ディスプレイの製造では 薄膜形成→光感光体塗布→感光→感光部剥離→エッチング→光感光体剥離 と言う行程が多数入っています。 この薄膜形成で使われる技術です。 薄膜形成技術はCVDの他にPVDも使われます。 PVDとはPhysical Vapor Deposition ...続きを読む
えっと、CVDがChemical Vapor Depositionだったら補足します。
CVDの半導体への応用ですが、半導体や液晶ディスプレイの製造では
薄膜形成→光感光体塗布→感光→感光部剥離→エッチング→光感光体剥離
と言う行程が多数入っています。
この薄膜形成で使われる技術です。
薄膜形成技術はCVDの他にPVDも使われます。
PVDとはPhysical Vapor Depositionの略です。
蒸着とか、スパッタリングなどがあります。

半導体では・・・
CVDは相間絶縁膜(SiO2など)、多結晶シリコン膜など、
PVDはアルミ、タングステンなどに使われています。
このQ&Aで解決しましたか?
関連するQ&A
-PR-
-PR-
このQ&Aにこう思った!同じようなことあった!感想や体験を書こう
このQ&Aにはまだコメントがありません。
あなたの思ったこと、知っていることをここにコメントしてみましょう。

その他の関連するQ&A、テーマをキーワードで探す

キーワードでQ&A、テーマを検索する
-PR-
-PR-
-PR-

特集


関連するQ&A

-PR-

ピックアップ

-PR-
ページ先頭へ