CVDについて教えて下さい。

質問

CVDってなんですか？またそれが何に用いられているのかなど教えてください。

回答No.6

tomtomtomtom

下にも書かれていますが、恐らく化学気相析出のことですよね。
簡単に言うと、気相法を利用した表面改質技術のひとつだといえますが、その
利用範囲は広いです。
僕の知る限り、窒化炭素や、窒化チタン、窒化アルミ、酸化ハフニウム・・等々です。
いずれも薄膜ということが特徴で、表面を薄膜で覆うことで、
母材にはない特性を寄与させることができます。
具体的には、ドリルなどの切削工具の刃先部分や、ギアの接触部分などが
よく聞きます。
一方で、ナノテクノロジーの分野と合わさって、最先端の半導体技術や医療の分野でも、重要なものとなっています。

窒化物や酸化物などは、通常では、金属表面に付着させることはできませんが、高度な真空技術の発展によって、上に書いたようなものが実現できるようになりました。