-PR-
解決
済み

半導体のチップ表面の保護膜は?

  • すぐに回答を!
  • 質問No.31066
  • 閲覧数548
  • ありがとう数1
  • 気になる数0
  • 回答数1
  • コメント数0

お礼率 13% (4/30)

現在の半導体のチップの表面を保護(傷がつかないようにするため)している
保護膜は何を使っているのですか。
また、その材料の特性(特に耐熱)について教えて欲しいのですが・・・
よろしくお願いします。
通報する
  • 回答数1
  • 気になる
    質問をブックマークします。
    マイページでまとめて確認できます。

質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1
レベル8

ベストアンサー率 38% (22/57)

二酸化珪素(酸化シリコンSiO2)だったと思います.
金属シリコン自体反応性が高くすぐに酸化してしまいますが,酸化すると水晶(耐熱ガラスの方が近いかも)になります.耐熱ガラスみたいなものですから,絶縁・熱耐性に優れます.
金属配線後に拡散方式で全体をコートします.
お礼コメント
natake

お礼率 13% (4/30)

ありがとうございました。
いつも同じ人に答えて頂いていますね。
これからもよろしくお願いします。
投稿日時 - 2001-01-22 17:07:48
-PR-
-PR-
このQ&Aで解決しましたか?
関連するQ&A
-PR-
-PR-
このQ&Aにこう思った!同じようなことあった!感想や体験を書こう
このQ&Aにはまだコメントがありません。
あなたの思ったこと、知っていることをここにコメントしてみましょう。

その他の関連するQ&A、テーマをキーワードで探す

キーワードでQ&A、テーマを検索する
-PR-
-PR-
-PR-

特集


いま みんなが気になるQ&A

関連するQ&A

-PR-

ピックアップ

-PR-
ページ先頭へ