不導体膜のつけ方

このQ&Aのポイント
  • 半導体設備でSUS316Lの材料に不導体膜をつける方法を探しています。
  • 現在の方法は硝酸20%に浸漬する方法と電気を流して不導体膜を作る方法がありますが、効果はどのようなものでしょうか。
  • 一般的にはどのような方法を取っているのか、知っている方からの助言をお願いします。
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不導体膜のつけ方

半導体の設備でSUS316Lの材料に不導体膜をつけるのに一番良い方法を探しています。 現在硝酸20%に浸漬するの方法と電気を流して不導体膜を作るものとあるようですが効果はどのようなものでしょうか。 現在の半導体設備では一般的にどのような方法を とっているのかわかる方助言をお願いします。

noname#230358
noname#230358

みんなの回答

noname#230359
noname#230359
回答No.3

そのまま使用しても良いと考えますが、見た目を半導体業界は気にするので、 ? 電解研磨 ? ヘアライン 等を検討してみて下さい。 以下に、参考のURL添付しておきますので、冒頭の内容と中段より下の表面仕上げ に関する記述を確認下さい。

参考URL:
http://www.hsk.ecnet.jp/sus-kaisetu.htm http://www.coguchi.com/search-date/tyositu.html
noname#230359
noname#230359
回答No.2

もう古い件なようですでに解決されていると思いますが、オゾンパッシーベーションという処理があります。 ご参考まで...

参考URL:
http://www.iwatani.co.jp/jpn/div/ing_wem/ele_gas/ozon/index.html
noname#230359
noname#230359
回答No.1

不勉強のため、質問の主旨がよく分からないので、もう少し詳しく教えて頂けませんか? 半導体の設備でどうしてSUS316Lに不導体膜を付ける必要があるのでしょうか。

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