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真空装置の冷却方法hについて

真空装置の冷却を行なうときに，水を用いて冷却をする場合があると思うのですが，この冷却機構は大気圧に用いるものと同様でしょうか？それとも何か特別な措置を施していますか？教えてください．

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  • kb-nike
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回答No.3

お尋ねの装置がどのようなものかわかりませんが…。 化学実験では、例えば、減圧蒸留や減圧昇華の場合、大気圧用と同じ構造の冷却器を使っています（勿論、摺り合わせまたは気密シール継ぎ手を備えたもの）。

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noname#42083
noname#42083
回答No.2

半導体用の真空装置（チャンバー）、ポンプ類は、私も大気圧用しかみたことがありません。チラー等を用いて、大気圧側に溶接している配管に循環するだけです。 高分子を吸着する、クライオポンプ、マイスナーコイルの ２次側の冷却水も同様です。

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回答No.1

状況がよく掴めなくて申し訳ないのですが水を真空にさらすわけはないですから（水は大気圧側にある？）大気圧に用いるものと同様と思います。 ただし真空側との封止部をも構成しているならば真空シールの考慮は必要かと思います。 昔、私の見たのは真空装置では外壁に銅管を巻き付けてはんだやロウで接着したものに水を流すものです。 電子管の水冷却としては流水によるものと蒸発冷却があります。

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