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- garden2001
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なかなか回答がつきませんね。 ちょっと質問内容が専門的すぎるのでしょうか？ ところで、「マスクをＳｉＯ２上に施した」と書かれておりますが、「マスク」とは何ですか？ 「マスク」というからには、ＳｉＯ２をマスキング（隠す）しているのですよね？ ＳｉＯ２の上に何かがあれば、フッ酸液と接触できず、エッチングもされないと思います。 マスクのあるところと無いところで、エッチングスピードに差があるのは当然ではないでしょうか？
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