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SiO2のBHF(バッファードフッ酸)によるウエットエッチングについて

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SiO2のウエットエッチングについて聞きたいのですがマスクをSiO2上に施したものと何も施していないものではエッチングのスピードは異なってくるのでしょうか。
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質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1
レベル11

ベストアンサー率 38% (116/304)

なかなか回答がつきませんね。
ちょっと質問内容が専門的すぎるのでしょうか?

ところで、「マスクをSiO2上に施した」と書かれておりますが、「マスク」とは何ですか?
「マスク」というからには、SiO2をマスキング(隠す)しているのですよね?
SiO2の上に何かがあれば、フッ酸液と接触できず、エッチングもされないと思います。

マスクのあるところと無いところで、エッチングスピードに差があるのは当然ではないでしょうか?
お礼コメント
garden2001

お礼率 62% (10/16)

ありがとうございました。
投稿日時 - 2002-03-05 14:21:32
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