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プラズマから守りたい・・・
こんにちは。今、半導体用のゴムシート(フッ素ゴム)を コーティングすることでプラズマから保護したいのですが、 どんな樹脂で保護するのがベストか、どなたかご存知ないでしょうか? また、そんな製品はありませんか? ご存知の方、教えてください。
- nimomozou
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- samashi
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ポリイミドがいいと思います。耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。
- k-fon
- ベストアンサー率30% (241/783)
フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。 真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか? もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・
- 参考URL:
- http://www.valqua.co.jp/
- anisol
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あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。
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