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プラズマから守りたい・・・

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お礼率 0% (0/5)

こんにちは。今、半導体用のゴムシート(フッ素ゴム)を
コーティングすることでプラズマから保護したいのですが、
どんな樹脂で保護するのがベストか、どなたかご存知ないでしょうか?
また、そんな製品はありませんか?
ご存知の方、教えてください。
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回答 (全3件)

  • 回答No.1
レベル11

ベストアンサー率 48% (146/301)

あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。
あまり詳しくないのですが、フッ素ゴムは耐熱性・耐薬品性に非常に優れていますよね。これより優る樹脂はそうないと思うのですが…。またフッ素ゴムは非接着性でコーティングは難しいような気がしますが、どうなのでしょうか。


  • 回答No.2
レベル12

ベストアンサー率 30% (241/783)

フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。 真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか? もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・ ...続きを読む
フッ素ゴムはコーティング剤の”のり”が悪そうなので、他の方法を考えたほうが良いと思うのですが。

真空気密シール等の目的でどうしてもフッ素ゴムを使用する必要があるのなら、直接的な解決策ではないのですが、フッ素ゴムシートとプラズマ源との間にSUS等の遮蔽板を置く構造にしたらどうでしょうか?

もしフッ素ゴム使用の目的が真空気密シールならば、これをメタルOリングに変更すれば簡単に解決できそうですが・・・
  • 回答No.3
レベル6

ベストアンサー率 0% (0/4)

ポリイミドがいいと思います。耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。
ポリイミドがいいと思います。耐熱性・高純度性が優れていますが、価格がちょっと高いのが難点ですね。製品名はわかりかねますのが、フッソコーティングのメーカーで調べてみるのも手かな?と思います。
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