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フッ素ゴムの貼り付き
- フッ素ゴムを使用したシリコンウェハの指示部が洗浄後に貼り付く現象が発生しています。
- メタノールでフッ素ゴムを拭いたところ、シリコンウェハが貼り付くようになりました。
- どのような原因が貼り付き現象の発生に関与しているのか、詳しい説明をお願いします。
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