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真空に入れるフッ素ゴムの洗浄方法について
- 真空チャンバーにフッ素ゴムを入れる際の洗浄方法や適切な薬品について調べました。
- 特級メタノールでの超音波洗浄では達成したい圧力が得られなかったため、他の方法を考える必要があります。
- ゴム棒を加工する際には油を避けるべきです。
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お礼
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補足
その後，フッ素ゴムに対して，真空を引きながら ベーキング（１３０℃，合計７０時間）を行ったところ， 使用する真空システムにおいて2*10^(-8)Torrまで 達成できました。 結論として， フッ素ゴムを洗浄するには，イソプロピルアルコールに浸した ベンコットで拭くのがよいそうです。 脱ガスの方法としては真空中でのベーキングが有効でした。 ベーキング温度は，１２０～１３０℃くらいが適当であると思います。 同じフッ素ゴムでも，グレードによって耐熱温度が違うので あまり高温にはしないほうが安全です。 ありがとうございました。