ダイボンド工程にてチップ裏面への打痕跡発生について

質問

ダイボンド工程にてチップ裏面へ打痕跡が確認されました。
打痕跡が大きい為、品質問題になる可能性がありますので対策をしたいのですが、打痕跡を無くす（小さくする）為にはどうすれば良いでしょうか？

原因としては、突き上げピン・条件・ダイシングシート等が考えられると思います。

対象チップサイズは□1.5?
突き上げ点数は1点です。

下記やり取りに対して何か意見・アドバイスありましたら宜しくお願いします。

回答No.4

noname#230359

チップサイズにつきましては、3mm*5mm、5mm*10mmのくらいですかね。
すみません定かでありません。
また、３番につきましてはメーカーの技術情報として漏洩する恐れがありますので控えさせていただきたいのですが、宜しいでしょうか？
その他の情報としては他回答者様が良いご意見をされているようですので
小生と致しましては補足はありません。申し訳ありません。

回答No.3

noname#230359

こんにちは。
ＵＶテープではないのですね。
当該チップサイズでＵＶ仕様でなければＲ２５でテープを突き破ってＰｉｃｋＵｐするしかない様に思えます。そうなれば「糊残り」は必然的に発生しますね。以下に打開策をアドバイス致します。参考までに。
１：暫定策→コストの関係でＵＶテープを使用できない場合。
この場合は先端Ｒ２５以下でなければＰｉｃｋＵｐ性は著しく悪化しますので、先端Ｒはそのままに、ＰｉｃｋＵｐ条件を変更する以外にありません。
Ｃａｎｏｎのダイボンダーであれば２段階突き上げ等の装置パラメーター設定を行い、一気に突き上げるのではなくソフトに２段階で突き上げてみてください。ちなみにＰｉｃｋＵｐミスは発生しておりませんか？発生しているのであれば、完全にＣｈｉｐがリフトしていない状態でＰｉｃｋＵｐされている可能性があり、ＰｉｃｋＵｐ時においてＣｈｉｐが平行にリフトされていない状態でコレットが接触することから、裏面にダメージが加わっている可能性があります。

２：恒久策→ＵＶテープの使用
ＵＶテープであれば、□０．５ｍｍでＲ７５でもＰｉｃｋＵｐ条件を適正にすれば打痕跡も糊残りもなくＰｉｃｋＵＰ可能です。お勧めは日東電工製DU-400SEです。粘着層の厚みが薄く、ダイシング時における裏面チッピング等も大幅に軽減されてＴＯＴＡＬ品質が向上します。
http://www.nitto.co.jp/product/datasheet/optical/024/

こんにちは。
以下にアドバイス致します。

１：コレット材質変更による打痕跡への改善効果について
当該の問題はチップ裏面への打痕跡と認識しておりますが、間違いないでしょうか？そうだと仮定してのお話ですが、コレット材質変更はチップ表面への傷回避へは有効ですが、裏面への打痕跡には改善効果はないと思われます。硬質から軟質へ変更して、裏面へのダメージ軽減策と思われますが、根本原因は突き上げ針が鋭角すぎて裏面へ突き刺さってしまうことにありますので、材質を変更しても大きな効果はなきものと思われます。
参考までにですが、私の経験上、ウレタン材の円筒コレットでも発生経験があります。しかしながら、前述の通り、硬質材はチップ表面傷への影響がありますので、この際にＴＯＴＡＬ品質面で変更されてはと思います。

２：小チップサイズの２段階突き上げ対応可否
先に回答しております通り、私の経験上で１．０ｍｍ以下で２段階突き上げの実績がありますので問題ないものと思います。

３：紹介したＵＶテープの価格
誠に恐れいりますが、ここは公の場ですので製品単価を公表することはできかねます。各社個々に戦略価格であったり、対納入数での個別価格となっているかと思いますので、是非最寄りの代理店か直接メーカーサイドと一度ご商談してみてください。

ちなみに貴殿サイドでは、ラバーコレットの使用実績はございますか？使用にあたっては、「チップサイズ　：　吸着表面サイズ」がキーポイントになりますので、少しアドバイスさせて頂きます。
１：ラバーコレット使用による持ち帰り
ラバーコレット表面は、表面状態にある程度「なじみ」が出るまでＣｈｉｐ表面に吸着して「持ちかえり」の事象が発生する場合があります。回避策としては吸着面積を出来る限り「抑える」ことにありますので、先端径の選択に注意してください。

２：ラバーコレット先端径大によるチップコナー欠けの発生
ラバーコレットの径がチップサイズよりも大きい場合、ラバーの特性上、チップが徐々にコレット表面の摩耗によって埋め込まれる状態になります。丁度「角すい」コレットの様な吸着状態に陥り、チップコナーを起点にしてピックアップする様な状態となって、欠けが発生する場合がありますので注意が必要です。

こんにちは。
品質改善本当にご苦労様です。

ご尽力されている姿が浮かびます。

私如きがアドバイスできる程の者ではございませんが、あくまでも
私見で述べさせて頂きますと、

>突き上げ針の変更
>クラウンイジェクターニードル（MICRO-MECHANICS製）への変更。
>→1点から4点（上記針）突き上げへする事で打痕跡を回避する。

対策内容として「有効」であると思います。
見解は貴殿と同じです。

この場合でも先端Ｒには気を付けた方が良いと思います。
多点ＰｉｃｋＵｐになるのですから、大き目の先端Ｒで問題ない
と思います。

あとは「摩耗管理」だと思います。

不均一摩耗が発生した場合は、斜め突き上げになる場合がありますので、
初期の段階から１カ月単位毎で摩耗状況と打痕跡及びＰｉｃｋＵｐ性を
確認していった方が良いと思われます。

こんにちは。

以下にアドバイス致します。

１について
前回も申し上げました通り、「打痕跡改善策」として先端Rの仕様は重要であり、現状の先端R仕様よりも鋭角にすることは得策ではないと考えます。
MICRO-MECHANICS社製の突き上げピンはCanonさんの標準品の一つであり、私は他社品を使用した経験はありません。又、MICRO-MECHANICS製は定評があり、たとえ他社品に切り替えたとしても、大きな改善効果は期待できないと思います。
何れにせよ問題は「ツール仕様」にあると考えます。

２について
私の間違えであれば申し訳ないのですが、現状ご使用になられております
SPV-214は本来ダイシング用途ではないと思いますがいかがでしょうか？
日東さんと商談中とのことですが、UV仕様にされるとダイシング品質含め
TOTALで品質が向上し、これによって検査工数の削減も期待できます。
間接材費用は上がると思いますが、打痕跡改善含め是非ご検討を継続されることをお勧めいたします。

※尚、UV仕様にした場合は再度突き上げピンの仕様をご検討されてはと思います。私の経験上、UVであれば更に先端Rを鈍角にできると考えます。

こんにちは。

購入を進める上で上司よりご質問(疑問)がありました。
>お分かりでしらアドバイスお願い致します。

誠に申し訳ございませんが、そもそもの質問の意図が私には良く理解
できません。
先ず、ピックアップツールを多点化する意図は、力の分散ではなく一定面積
の物体を安定的にリフトUpさせることにあるのではと思いますが、認識
は合致しますでしょうか？
シーソをイメージしてもらえればわかりやすいかと思いますが中央１点
支持と中央含め両端支持ではリフトUpの安定性能は格段に向上します。
これに加えて力の分散効果の期待があると思います。
但し１点を多点にしたからといって、１点に加わる力が分散されるだけ
であって、Ｃhipを剥がす力のTOTAL値に変わりはございませんから、
剥がれにくくなることはないと思いますが。

但し、厳密には安定化することによって、単純比で現状１点に加わっていた
力（不安定）がそのまま等分化されることはないかと思いますので
必ず再度製造条件の検証を行ってください。

>日東電工様より推奨品を教えて頂きましたのでお知らせします。
>・UV効果型シート(UE-111AJ 230X100)
>・感圧型シート(ELP V-8S 230X100)
>感圧型の方が安価と言う事で追加推奨して頂きました。

以前から申し上げている通りであり、感圧型であれば現状と大差ない
と考えます。Vシリーズと仕様と現状ご使用になられているシートの
シート厚及び粘着性能に大差ございませんので。

先ずはTryしてよくご検討されることを望みます。

こんにちは。

ご対応本当にご苦労様です。

リンテックさんも大変定評がございますので申し分ないと思います。
早く改善されることをお祈りしております。

私でよろしければ、アドバイス致しますので、何なりとお問い合わせ
ください。

こんにちは。
品質改善対応ご苦労様です。

良い結果が得られて良かったですね。こちらも安堵しました。

生産が海外ということですが、プロセスコントロールは国内並みですか？
各管理が人（現地）に大いに依存するところがあるのであれば、

UVシート対応の方が良いかもしれません。

突き上げ針対応の方がコスト的にも優位であると思いますが、
如何せん摩耗管理ができなければ、何れは再発します。

そうならない様に、プロセスコントロールを変更して、摩耗管理
規定を設けても、実際には実行されておらず、市場クレームなどで
顕在化した等の例が多々ございます。

私であれば

・プロセスコントロールが問題ない→突き上げ針
・プロセスコントロール面で問題有→UVシート

の選択をします。

表現が大変に宜しくないのですが、
イニシャルコストvs市場クレーム対応コストとの天秤になるかと思います。

お礼

makoyan殿

弊社にて、対策の打合せを行い検討する事になったのがコレットの変更です。
現在使用しているコレットは超硬角平コレットです。
それをラバーへ変更するような動きとなっております。
上記対策案に対してどう思われますでしょうか？

上記アドバイス内容についての質問です。
1.の2段階突き上げについてですが、チップサイズが小さいですが可能なんでしょうか？

2.のUVテープ使用についてですが、メーカーに確認すればよい事かもしれませんが価格はどの程度なんでしょうか？

以上、すみませんが宜しくお願い致します。

makoyan殿

度々すみません。

対策案として私が考えた案として下記内容がありますので
ご意見ありましたら宜しくお願い致します。

突き上げ針の変更
クラウンイジェクターニードル（MICRO-MECHANICS製）への変更。
→1点から4点（上記針）突き上げへする事で打痕跡を回避する。

※ラバーコレットですが、現場等に確認しながら選定しております。
　（使用実績はあります）

makoyan殿

御世話になっております。

アドバイスありがとうございまいた。

現状の改善対策についてご意見頂きたく。(何度もすみません）

1.クラウンイジェクターニードル（MICRO-MECHANICS製）への変更。
>メーカーへ確認し、最適なスペックと価格を教えて頂きました。

スペック：φ0.7*L20.0*R0.025*X1.31*A0.23*B°10
(現状使用針スペック：φ0.7*L20.0*10*R0.035 マイクロメカニクス製）

他社でクラウンイジェクターニードルはあるのでしょうか？
ご存知でした教えて頂きたく。

2.UVシートへの変更。
>以前紹介して頂いた日東電工(株)にてUVへの変更検討を行っております。
>日東電工さんとお話し、最適なシートの提案結果待ちとなっております。

現状シート：日東電工製 ＳＰＶ－２１４

以上。

makoyan殿

御世話になっております。
何度もアドバイスありがとうございます。

上記質問1.2に対しての追記です。

1.クラウンイジェクターニードル（MICRO-MECHANICS製）への変更。
>現在、ﾏｲｸﾛﾒｶﾆｸｽ社より突き上げ針を購入する方向で動いております。
>（検討用と言う事で数本）
>
>購入を進める上で上司よりご質問(疑問)がありました。
>お分かりでしらアドバイスお願い致します。
>・4点突き上げにすると、力が分散され針跡は付きにくくなると思いますが、
>　シートがチップ裏面からはがれにくくなるようにも思いますが。
>　針跡をつけにくい方向になるというメカニズムが説明できるのなら、
>　お願いします。　
>という内容です。

2.UVシートへの変更。
>ご質問のありました通りSPV-214はﾀﾞｲｼﾝｸﾞ用ではないようです。
>確認したところ、金属板用表面保護材のようです。

>日東電工様より推奨品を教えて頂きましたのでお知らせします。
>・UV効果型シート(UE-111AJ 230X100)
>・感圧型シート(ELP V-8S 230X100)
>感圧型の方が安価と言う事で追加推奨して頂きました。

makoyan殿

御世話になっております。
何度もアドバイスありがとうございます。

現状のご報告をさせて頂きます。

打合せを行い、下記項目を現場にて検証する事になりました。
(前回にも言っているかもしれませんが）

・コレットの変更(超硬→ラバー）
・突き上げ針の変更(R25μ→30、50、ｸﾗｳﾝ・ﾆｰﾄﾞﾙ）
・ウエハーシートの変更
　　(現状：日東_SPV-214
検討：ﾘﾝﾃｯｸ_AdwillD-650(UV)・ﾘﾝﾃｯｸ_AdwillD-175(UV)・日東_V-8S)

以上。

makoyan殿

御世話になっております。
何度もアドバイスありがとうございます。

生産現場(国内)にて検証した結果をお知らせします。
※本来の生産現場は海外です。

・コレットの変更(超硬→ラバー）
・突き上げ針の変更(R35μ→50）
・ウエハーシートの変更
　　(現状：日東_SPV-214
検討：ﾘﾝﾃｯｸ_AdwillD-650(UV)・ﾘﾝﾃｯｸ_AdwillD-175(UV)・日東_V-8S)

上記項目対しての確認結果(海外現場と同条件にて確認しております）
・コレットの変更
→変更による打痕改善は出来ませんでした。

・突き上げ針の変更
→変更により打痕跡が無くなりました。
　そしてピックアップミスが無いか、数を増やし確認し現状問題無し。
　(今回はｸﾗｳﾝ・ﾆｰﾄﾞﾙへの変更確認は出来ませんでした)

・ウエハーシートの変更
→全てのｼｰﾄで確認を行いUVｼｰﾄへ変更した場合、打痕跡が無くなりました。
　(V-8Sのみの変更では改善出来ませんでした)

以上の結果より、突き上げ針の変更(50μ)での改善と言う事でユーザーへ回答
しております。
これから実際の生産現場にて確認を行う予定です。

結果をふまえてどう思われますでしょうか？

makoyan殿

御世話になっております。
クレーム対応にまでのアドバイスありがとうございます。

現在、海外生産現場での検討案実施に向けて動いている段階ですので
突き上げ針での確認を実施した段階でその辺を考えていこうと思います。

プロセスコントロールについてですが、国内と同レベルにて対応しているつもりです。
それと現場には弊社より装置に詳しい人間が出向と言う形で常駐しております。(現在もその方とやり取りをしながら改善へ向けて対応しております）

磨耗による定期交換を実施しているはず・・・です。

回答No.2

noname#230359

こんにちは。
早速ですが、この問題は貴殿がご推察の通り「ツール先端形状」及び「突き上げ条件」が不適切である場合に発生する内容です。

条件に関しては、前述の回答者の方が詳しくアドバイスされておりますので
そちらを参考に確認されると良いと思います。

次に「突き上げ針」ですが、当該チップサイズで１点針仕様、且先端Ｒ２５は経験上打痕跡に「全くマージンがありません。」条件面でカバーしたとしたとしても突き上げ時にダイシングテープへ先端が突き刺さりぎみになって、チップ裏面へテープの糊が転写されることが、Ｒ２５ではよくあります。

この糊残りを「打痕跡」と間違えてしまう場合がよくあります。綿棒にＩＰＡやアセトンを付けて擦ると消える場合はこの事象です。しかしながらこの糊残りが発生する条件が打痕跡発生の一歩手前なので要注意です。

突き上げ性から言えば、先端Ｒが小さい方が断然良いのですが、Ｒ５０～７５あたりを選択し、突き上げ条件を含め評価された方が良いと思います。

尚、ダイシングテープはＵＶですか？もしもＵＶでない場合は更に打痕跡に対するマージンが少なくなりますので、コストの面もありますが、品質優先であればＵＶテープを使用されることをお勧めします。

尚、私の上記回答はＣａｎｏｎ製　旧型及び最新型における実績経験上のアドバイスになります。

お礼

makoyan殿

回答ありがとうございます。

補足情報です。
・突き上げ針の先端Rですが、２５umR/角度が15°のようです。
・おそらくですが、UVシートは使用しておりません。
・突き上げ時にウェハ裏面のシートを突き破ってダイボンドしているようです。
　チップサイズが小さい為（ピックアップミス軽減）

すみませんが、再度アドバイスを頂きたく。

回答No.1

noname#230359

はじめまして、この質問はダイボンド装置を知っていないと回答しにくい
内容ですね。
小生は入社後、某メーカーのダイボンド装置のメンテナンス及び保全作業
を十数年行ってきました。
その中で、色んな改造を行いました。
その中に本質門によく似た改造を行ったことがありますので参考までに記
述させていただきます。
チップサイズは、64ｋ.256ｋから始まってもっと大きいサイズでした。

１．当初はチップを突き上げる→ダイボンドヘッドが前後→チップを吸着
　　→フレームへ貼り付ける　までを大きなカムで行っていました。
　　調整時はまず、ダイボンドヘッドの吸着部と下からの突き上げ部がき
　　ちんとセンターリングされているかどうかの確認及び調整を実施しま
　　した。

２．次にヘッドが下死点から上昇時、下の突き上げピンも平行に上昇して
　　いるかどうか確認しました。その時に、両者間の隙間も隙間ゲージを
　　あてて確認していたような記憶があります。

３．１．２項は調整に関してですね。あと、今回の質問者様のお取り扱い
　　のチップサイズは非常に小型なので心配ないとは思いますが、ダイシ
　　ングシートの剥離性を改善する為に、突き上げピン上昇部へ上昇リン
　　グを内蔵した部品に交換を行いました。
　　内容は、ピンだけでチップとシートを剥離させるのではなく、先にリ
　　ングを上昇させてチップのコーナー部分の密着を剥がしておいて、ピ
　　ンで突き上げることによりよりスムーズにチップをシートから剥がす
　　ことが出来るという物です。結構大型チップには効果的でした。

最後に、突き上げ機構が良く分かりませんがスピードが非常に効くと思い
ますのでその辺の調整と、突き上げピン先端の形状を少し改良しては如何
でしょうか？（少しＲをつけるとか）

参考になりましたでしょうか？

以上です。

お礼

早速の回答ありがとうございます。

補足なんですが、突き上げ針先端は25umRの物を使用しております。
使用装置についてですが、Canon製だと思います。

Default殿

上記補足内容に対しての回答宜しくお願い致します。

補足

Default殿

先日回答頂いた内容に対して質問したい内容があります。
お手数ですが、対応願います。

・貴殿が対応していたチップサイズは、64ｋ.256ｋとなっているのですが
　何ミリサイズの事なんでしょうか？

・上記3番、部品交換の件ですが部品の詳細情報（部品図面・価格・メーカー等）を教えて頂きたく。

※上記質問とは別ですが、今までのやり取りでの新たなアドバイスがありましたらお願い致します。