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超精密Ｚ軸ステージを探しています
- 繰り返し精度、面の真直度、平面のアライメントを総合的に考慮したＺ軸ステージを探しています。
- 輪郭度スペック±0.003mmの超精密Ｚ軸ステージを必要としています。
- 規格品でも特注品でも構いませんので、お知恵を拝借したいです。
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補足
早速のご検討ありがとうございます。 質問項目に対しての回答としてお答えいたします（満足いく回答にならないかもしれませんが） ?Z軸ステージ単体のスペック：0.005mm ?Z軸に載置した部品の真直度：0.001mm ?ワーク形状：W2×L350×30H（Z軸ステージ取り付け部は形状の自由度有り） W2部についてはZ軸ステージ取り付け部との調整可 ?アライメント動作：Z軸ステージの載置部品面のアライメントが0.003mm ?動作環境：クリーンルーム（クラス：1000） ?制御手段：PC制御を想定（このかぎりでない） 以上回答させていただきますが十分条件でないかわかりませんがご検討宜しくお願いいたします。