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分圧の計算について

aruberihiの回答

  • aruberihi
  • ベストアンサー率27% (23/84)
回答No.1

ん～、私もスパッタやってました（笑） ガス流量比をmol比になおすと言う方法もいいと思います。 あとはガスを入れるときに Arガス　ｘ Pa を流したあとに（このときの全圧はx Pa） N2ガス流入させ希望する全圧までもっていく。 当然、 全圧－ｘ＝ｙ ｙはN2の分圧 となるわけです。 分かったでしょうか？ 他にもプラズマの発光を分光させ、ある波長の光の強度を測る装置を用いて（ある元素はある固有波長の発光をすることはご存じと思います）その強度から分圧を求めると言った方法も考えられますが……装置が必要です（笑） そんなところでしょうか

hithit
質問者

お礼

おお　スパッタの先輩だ！((泣)) うちにある装置不便なことに分圧を表示しないんです！ ガスを圧でなく流量で示している文献なんてないですよね(笑) 上の説明よくわかりました！　ありがとうございます！ ちなみにマグネトロンスパッタリング法でTiN膜付けてます スパッタの先輩とは心強いです　また見かけたらアドバイスお願いします！ P.S　補足要求とありましたが何かあったでしょうか？ 　　　具体的に言って頂ければ補足します！！

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たびたび、追加（＾＾； ふと思ったのですが ・ガス流量ｘは…
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