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スパッタについて

  • 暇なときにでも
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お礼率 92% (513/553)

つまらない質問なのですが
イオンスパッタの時に、回転させながらやる方法のことを
発明者の名前をとってなんとか法というらしいのですが
その方法のことをなんというのか教えて頂きたいのですが。
ネットで調べたのですが全然見つからなくて。。。

つまらない質問ですみません。。。
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質問者が選んだベストアンサー

  • 回答No.1
レベル6

ベストアンサー率 66% (2/3)

質問者の方は、イオンスパッタで、薄膜を形成することを意図していると思います。(間違っていればすいません)
その場合に回転させるとなると、薄膜形成用の基板を回転させることだと思いますが。基板回転では、多元スパッタ法での基板回転と、単一元からのスパッタでも基板の薄膜形成を均一化するために基板回転させる方法があります。
私の記憶では、その方法に人名を冠したものはないと思いますが。
補足コメント
128yen

お礼率 92% (513/553)

Zalar回転というそうです。Zalarさんが発見?したからその名前がついたみたいです。
これからも薄膜&スパッタのことについてお尋ねするかと思いますが、そのときはよろしくお願いします。
投稿日時 - 2001-04-20 09:51:34
お礼コメント
128yen

お礼率 92% (513/553)

薄膜作成時ではなく、深さ方向分析を行うときに均一にスパッタされるように試料を回転させます。
ちょっと前に誰かから聞いてその時はあとで調べればわかるや!って気持ちで聞いていたのでぜんぜん思い出せないのです。。。
人の名前(外国の方)であることには間違いないんですが、、、
投稿日時 - 2001-03-26 12:24:51
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