- 締切済み
シリコンウエハの粉塵の危険性について
- みんなの回答 (1)
- 専門家の回答
みんなの回答
>シリコンウエハも結晶性シリカに分類… 分類されません。ウエファは金属ケイ素です。 その毒性は不明です。(汗;
関連するQ&A
- シリコンウェハの結晶方位
シリコン基板が(100)面でカットしてあるシリコンウェハがあるとします。 (1)の方向のように、オリフラ方向からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面(ミラー指数)はどのように表されるでしょうか? 同様に、オリフラ以外の方向((2)~(8)からシリコンウェハの側面を見た場合、 結晶面(ミラー指数)はどのように表されるでしょうか? また、シリコンウェハの側面から見たとき、 シリコン原子が最も多く見えるミラー指数はどのように表されるでしょうか? いびつなAAで申し訳ありません。 また、質問も多く、申し訳ありません。一部の回答でも歓迎です。 回答の根拠となるwebページを紹介されても結構です。 ↓(4) _,,.. -──‐- .、.._. ,. ‐''"´ ``'‐.、 (5) ,.‐´ `‐.、 (6) / \. ,i´ `:、 / ヽ. ,i i、 .i i. .i l (2) | |. → | | ←(3) | | . l l. . i、 ,i . i、 ,! (7) ヽ / (8) `:、 ,‐' \_______________/ ↑(1)
- 締切済み
- 物理学
- 多結晶シリコン製造による 棒状芯材 粉塵
多結晶シリコンの加工、研磨によって発生する粉塵は吸い込んだら有害なのでしょうか? 有害な場合、どの程度有害でしょうか? 有害であるならばどのような症状や病気を引き起こしますか? また、体の中に残留するものなのでしょうか? 専門的な知識をお持ちの方や詳しい方是非教えてください。 宜しくお願いいたします。
- ベストアンサー
- デザイナー・クリエイティブ職
- ウェハーの鏡面加工時に酸化セリウムが混入した場合…
ウェハーの鏡面加工時に酸化セリウムが混入した場合の影響について Siウェハーを鏡面加工する際には、 コロイダルシリカを使用されていると聞きます。 ここに微量の酸化セリウムが混入した場合、 どういった影響が出るでしょうか? 酸化セリウムは ・物理的にコロイダルシリカよりも粒径が10倍大きい ・形状が比較的鋭い ・化学的にSiと反応する これらがワークに対して致命的な問題(傷など)を 生じるかどうかお教え下さい。 また、上記問題点以外にワークに対して致命的な影響を及ぼす様な ことがあれば、併せてお教えいただければ幸いです。 以上、よろしくお願いします。
- 締切済み
- その他(材料・素材)
- (111)面を上にもってくるとどうなる?
結晶方位に関してですが、シリコンウエハなどで(111)面が表面にくるように考えた場合に、(100)及び(111)面はどういった面角度になるのか分かるかたいますか?自分で考えてもイメージできず・・・調べても基本は(100)(110)ウエハでの結果しかないもので。よろしくお願いします。
- 締切済み
- 物理学
- 珪藻土壁紙の結晶性シリカについて
アスベストがとりざされている中、珪藻土壁紙についても発ガン物質の結晶性シリカが混在しているので健康壁紙が逆に非健康壁紙ではないかと言われています。 珪藻土壁紙もシリカによって人体にどのような影響を及ぼすがご存知の方、教えて下さい。
- ベストアンサー
- 家具・インテリア
- HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響について
HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。
- 締切済み
- 化学
- 人体への悪影響について
HMDS(ヘキサメチルジシラン)が及ぼす人体への悪影響についてお聞きしたいのですが、私の勤める会社では半導体を作る工程で、シリコンウェハーとレジスト液の密着性を促進させるのに使用されているHMDS(ヘキサメチルジシラン)という有機溶剤を使用しています。それをウェハー上に垂らして高回転させる際にHMDSのきつい異臭を感じます。HMDSは発ガン性のある薬品だとも聞きますが、その危険度はどのようなものなのでしょうか。どなたかHMDSについて詳しく教えてください。よろしくお願いいたします。
- 締切済み
- 医療
- シリコンウェハについて。
素人なので教えてください。 シリコンウェハについてなのですが、 成分はシリコンだけなのでしょうか?それとも 他に重金属類とか入っているのでしょうか? よろしくお願いいたします。
- ベストアンサー
- 化学
お礼
お礼が遅くなりまして申し訳ありません。 結晶性シリカには分類されないとのことで少しは安心できました。 ご回答ありがとうございました。