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CVD ローディング トレイの材料

HT-CVDの ローディング トレイの材料にMoを使っています。 トレイはモリブデン板加工品です。 Mo使用の理由は 1.1000℃までの加熱後、熱変形が無い。 2.加熱―冷却過程に不純物の影響が無い。 ところが、Moは高価なのでコストダウン出来る材料を探しています。 皆さん、教えて下さい。

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みんなの回答

noname#160321
noname#160321
回答No.3

ちょうど今ネットニュースにフェライト、セラミック、ガラスの溝入れや切断加工、鏡面加工等の試作、量産、というのが入ってきました。↓ http://business.atengineer.com/hertz/index.htm お問い合わせになってはいかがでしょうか。 ----ここから引用----- 1)溝入れ・切断加工   板厚0.2mm~10mm程度   ワークサイズ スライサー加工時≧100mm□   ダイサー加工時≧203mm□またはΦ12インチ 2)平面研削・ラップ   板厚0.2mm~20mm   ワークサイズ5mm□~100mm□程度 多面体のワークについても対応可能です。 ----ここまで引用----

ildani
質問者

お礼

お忙しい間、有り難うございました。

noname#160321
noname#160321
回答No.2

>ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性… 溶接は無理です。穴加工等は各業者に問い合わせて個別対応になります。 多分炭化ケイ素含有ジェット水流などでの加工になるでしょう。 石英ならばフッ化水素酸利用の穴開けが可能です。

ildani
質問者

お礼

doc_sundayさん、再びありがとうございます。 大変参考になりました。 今後もよろしく申し上げます。

noname#160321
noname#160321
回答No.1

アルミナ、ジルコニアなどの無機酸化物の板はいかがでしょう、多少工作しにくいですが、サイズは色々あります。 単結晶サファイア、石英ガラスなどもありますが、コンタミするかな? アルミナ、↓ http://www.ssid.co.jp/ceramics_plate.htm サファイア、↓ http://www.irsystem.com/si%20ge%20znse%20caf2%20baf2.htm

ildani
質問者

お礼

ありがとうございました。 ベンジング、穴加工、リベッチング、溶接性も検討するべきので、どうかもう一度アドバイスお願い申し上げます。

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