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フッ化アルゴン とは?

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回答No.4

> ArFを一旦作って、 > レーザー発光装置の中に、封じ込められてあるのでしょうか? レーザー発光装置の中に封じ込められているのは、アルゴンガスとフッ素ガスとネオンガスの混合ガスです。 ArF はレーザー発光するたびにもとの Ar と F2 に戻りますので、作り置きはできません。 放電→ArFの生成→レーザー発光→ArFの消滅→休憩→放電→ArFの生成→レーザー発光→... の繰り返しにより、パルス状のレーザーが断続的に装置から出力されます。 パルス幅や繰り返し周波数の値については、ネット検索で調べてみて下さい。

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