• 締切済み

プラズマ工学における自己バイアスについて

はじめまして、私は大学でプラズマを用いた成膜の研究をしています。成膜には、プラズマを発生させたときに生じる負の直流バイアス（自己バイアス）が大きく影響してきます。その自己バイアス電圧が突然測定不能になってしまいました。というのも、今まで測定していたオシロスコープが故障してしまい、修理後から自己バイアス電圧が測定不能になっています。現在、今までと同様の実験条件で電圧波形を見ますと、自己バイアス電圧が全くかかっていません（今までは-180V前後かかっていたのですが、現在は-0.2Vです）。オシロスコープを修理に出した際、初期化されたと思うのですが、自己バイアス電圧を測定するには何か特別な設定をしなければならないのでしょうか？よろしくお願いします。

みんなの回答

  • leo-ultra
  • ベストアンサー率45% (228/501)
回答No.1

ちょっとふざけた回答で気を悪くされたら、ごめんなさい。 オシロの入力がDC結合からAC結合になっていたりして。 それとも故障が一部残っていて、表示がDC結合になっているが、実質的にはAC結合になっていたりして。 その場合は、適当なDC電圧源を用意して、 ちゃんと測定できるか確認されてみたらいかがでしょうか？

aep9111
質問者

補足

回答ありがとうございます。 入力のカップリングにつきましては確認済みです。（DC結合） 故障が直っていないとするとどうしようもできませんが、波形は確認できますので問題ないかと思います。 色々調べたところ、設定が記憶される項目はそう多くはなさそうなのでもう少し調査してみたいと思います。 ありがとうございました。

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