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自然酸化膜の膜厚
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物理化学系の専門家ではありません故、ご参考までに。 XPS(X-ray Photoelectoron Spectroscopy)による酸化膜の膜厚測定値が、 住化分析センターより下記の如く報告されております。 Si ウエハ ： 自然酸化膜の膜厚 ２４Å と推定 Al 箔 ： 同 上 ５３Å と推定 なお yahooで"自然酸化膜 膜厚"で検索すると７０件ほどヒットしましたので、もっと有用なデータが見つかると思います。
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