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AR膜ってどんな膜ですか?

AR膜ってどんな膜ですか?電気関係材料だとおもいます。 液晶TVの保護膜かでしょうか? 反射防止フィルムでしょうか?

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  • paddler
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回答No.1

> 反射防止フィルムでしょうか? ご明察。 Anti-Reflection Coating です。 屈折率の異なる透明材料(MgFなど)を多層蒸着したものが一般的です。

yohooosaka
質問者

補足

干渉させて反射を防ぐのですか?

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その他の回答 (1)

回答No.2

半導体の分野ではリソグラフィーにも使います。 ARCとかARL(Coating or Layer(海外ではこちらが多い))と呼ばれます。 半導体の基板の最上層がメタル等で反射を持つ場合、下からの照り返しで現像が思う通りにできません。そのような場合、基板//反射防止膜/レジストのようにコーティングするのです。以前はカーボンを使っていた時代もありますが、今は有機系の高分子です。

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