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湿度センサーについて教えて下さい

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センサーに使われている金属酸化物の表面抵抗と水蒸気の関係について教えて下さい
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湿度センサーに使われているものは.知っている範囲で2種類あります。
一つは単なる電極で.表面参加皮膜の影響をほとんど受けず.測定対象物の湿度変化による電波の変化を知るための単なるアンテナです。
もう一つは.シリカアルミノなんとか(ジルコニア系酸化物かも)せいで.湿度変化に対して10-30分程度の早い時間でそしき抵抗が変化します(たこうしつ)。
こちらは1970年代のナショナルテクニカルレポートのどこかに書いてあったかと思いますので.探してください。温度・湿度変化と抵抗値の関係のグラフの内容をきれいさっぱり忘れました。
お礼コメント
buriso

お礼率 55% (33/60)

ありがとうございました.本はさっそく探してみます.
投稿日時 - 2001-12-04 11:19:33
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