Siイメージセンサ(フィルタなし)なのに近赤外感度
- Siイメージセンサ(フィルタなし)なのに近赤外感度がないという事実について疑問が生じました。
- 実際に素子のデータシートを確認すると、近赤外に対する感度がなくて意外でした。
- 一方、SiPDの受光感度(A/W)スペクトルは近赤外検出が得意であることを示しています。この違いはどのような原因によるものなのでしょうか?
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Siイメージセンサ(フィルタなし)なのに近赤外感度
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- ohkawa3
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参考URLの資料のp.107では、一般的な裏面入射型のシリコンイメージセンサの場合、シリコン層の厚さが15~30μm程度しかないので、近赤外域の感度が低下する旨説明されています。 これに対して、シリコンフォトダイオードでは、構造的に十分なシリコン層の厚さが確保できるので、シリコンのバンドギャップで決まる波長1.1μm前後の近赤外域まで、理想に近い感度特性が確保されるように思います。
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